孙小孟
- 作品数：16 被引量：3H指数：1
- 供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程理学更多>>
- 一种可视化射频阻抗匹配器
- 本发明公开了一种可视化射频阻抗匹配器，属于半导体工艺设备技术领域。所述可视化射频阻抗匹配器包括检测模块、控制模块、显示模块和阻抗匹配执行模块，检测模块分别与控制模块和阻抗匹配执行模块连接，控制模块与显示模块连接。本发明提...
- 孙小孟李勇滔李英杰刘训春夏洋
- 文献传递
- ALD中射频阻抗匹配器的设计与研究被引量：1
- 2012年
- 阐述原子层沉积系统(ALD)中射频阻抗匹配器的设计方案。利用ADS软件对阻抗匹配网络进行仿真,通过分析ALD真空腔室内等离子体产生前后的负载阻抗变化,结合仿真结果,提出等离子体产生过程中阻抗匹配网络的控制方法。经实验验证,该阻抗匹配器和控制方法可实现阻抗匹配。
- 孙小孟李勇滔夏洋李超波李英杰陈盛云赵章琰秦威
- 关键词：阻抗匹配网络ALDADS
- 基于D类放大器的固态射频电源研究被引量：1
- 2018年
- 射频电源采用D类功率放大模式,着重分析了驱动电路、功率放大电路。采用4只晶体管两两并联组成推挽电路,再由传输线变压器进行功率合成,输出功率达到1500W,整机效率65%。
- 孙小孟崔晨林亭廷赵丽莉李勇滔
- 关键词：推挽电路功率合成
- 一种传输线自动阻抗匹配系统
- 本发明公开了一种传输线自动阻抗匹配系统，属于半导体制造技术领域。所述系统包括：功率相位检测模块，用于检测出射频信号的幅值与相位信息；位置监测模块，用于监测阻抗匹配网络的电容值信息；控制模块，用于根据幅值与相位信息和电容值...
- 孙小孟李勇滔李英杰赵章琰秦威夏洋
- 文献传递
- 可实现快速阻抗匹配的射频电源系统
- 本发明公开了一种可实现快速阻抗匹配的射频电源系统，包括射频功率发生器和阻抗匹配器，射频功率发生器输出的射频功率信号的频率根据阻抗匹配器获取的检测值来变化；阻抗匹配器包括检测器、控制器和执行机构；执行机构包括固定阻抗元件、...
- 李勇滔孙小孟李英杰夏洋王文东
- 文献传递
- 一种射频阻抗匹配器
- 本发明公开了一种射频阻抗匹配器，属于半导体制造技术领域。所述射频阻抗匹配器通过传输线连接在射频电源与等离子体腔室之间，射频阻抗匹配器包括：信号检测模块，用于检测射频电源的入射功率和传输线的反射功率，并输出检测结果；控制模...
- 孙小孟李勇滔赵章琰李英杰秦威夏洋
- 文献传递
- 基于露点降估算的APU电子控制系统设计
- 2023年
- 为了实现商用车电控空气处理系统闭环精确控制、使系统的安全性和经济性得到改善,在商用车空气处理系统中引入了温湿度传感器。根据温湿度和压力数据,经Vogel-Tamma-Fulcher(VTF)方程实现了对高压露点降(DPD)的实时计算和监测。在此基础上,设计了一种适用于底盘域控制器或整车控制器的商用车空气处理单元(APU)电子控制系统。试验结果显示,在中国重型商用车瞬态循环(C-WTVC)工况下使用该系统可以有效降低再生率约4%,商用车空气处理系统的空气压缩机负荷率降低约3%。在APU电控系统中引入露点估算,实现了对空气处理系统DPD的实时监控和稳定控制,提升了系统安全性、降低了空气压缩机负荷。
- 张彦会王君琦李勇滔吴迁杨军孙小孟
- 关键词：商用车空气处理系统温湿度传感器电磁阀电子控制
- 一种传输线自动阻抗匹配系统
- 本发明公开了一种传输线自动阻抗匹配系统，属于半导体制造技术领域。所述系统包括：功率相位检测模块，用于检测出射频信号的幅值与相位信息；位置监测模块，用于监测阻抗匹配网络的电容值信息；控制模块，用于根据幅值与相位信息和电容值...
- 孙小孟李勇滔李英杰赵章琰秦威夏洋
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- 磁控溅射等离子体阻抗影响因素研究
- 2023年
- 了解等离子体阻抗在磁控溅射放电过程中的变化规律,有利于调控电源和负载之间的阻抗匹配,达到最大化利用溅射功率,提高镀膜质量的目的。为了研究磁控溅射镀膜工艺过程中等离子体的阻抗特性的变化趋势,本文采用V-I probe测量等离子体阻抗大小、极板负偏压等参数,研究了气体流量和溅射功率对等离子体阻抗特性的影响。结果表明,在本文的实验条件下,等离子体始终呈现为容抗特性。当气体流量增大时,受氩气的电离率影响,等离子体阻抗实部R呈现先增大后减小的趋势,阻抗虚部X受到鞘层的影响呈现先减小后增大的趋势。当溅射功率增大时,等离子体阻抗实部R受欧姆加热的影响一直增大,阻抗虚部X受到负偏压和鞘层的影响逐渐减小。
- 王懿李勇滔李含雁金炯孙小孟张春雨
- 关键词：磁控溅射射频放电放电参数
- 一种具有旋转工件台的测量PV组件功率特性的装置
- 本发明公开了一种具有旋转工件台的测量PV组件功率特性的装置，包括太阳光模拟器、电信号测试电路和运算控制器，旋转工件台分别与电信号测试电路、运算控制器相连接，电信号测试电路与运算控制器相连接；所述旋转工件台上设有温度传感器...
- 李勇滔夏洋孙小孟
- 文献传递
