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李晓波

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：河北工业大学信息工程学院更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电阻
  • 1篇直流磁控
  • 1篇直流磁控溅射
  • 1篇射线衍射
  • 1篇透光率
  • 1篇溅射
  • 1篇方块电阻
  • 1篇X射线衍射
  • 1篇AZO
  • 1篇AZO薄膜
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇河北工业大学
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇杨瑞霞
  • 1篇王静辉
  • 1篇李晓波

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
溅射时间对AZO薄膜结构以及光电性能的影响
2011年
应用直流磁控溅射在石英玻璃上生长AZO薄膜,利用X射线双晶衍射(XRD)、四探针以及可见光分光光度计,对薄膜结构特性、光学以及电学特性进行了分析,并讨论了溅射时间对薄膜晶体结构、膜厚、方块电阻以及透过率的影响。针对AZO在LED中作为电流扩展层的应用,利用光学模拟软件TFCalc对AZO以及SiO2构成的双层膜的透过率进行了模拟,用溅射和PECVD分别生长AZO以及SiO2薄膜加以验证。通过适当的调节薄膜厚度,可使透光率在可见光波段有整体上的提升。
李晓波杨瑞霞王静辉
关键词：直流磁控溅射AZO薄膜X射线衍射方块电阻透光率
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