- 磁控溅射制备钛薄膜的结构和光学性质被引量：5
- 2012年
- 利用直流磁控溅射技术在石英基片上沉积厚度为35～112nm的钛薄膜.采用X射线衍射仪和原子力显微镜分别对薄膜的微结构和表面形貌进行观测,用分光光度计测量样品的透射和反射光谱.选用德鲁特光学介电模型,通过拟合样品的透射和反射光谱数据的方法求解钛薄膜的折射率、消光系数和厚度.结果表明,随着厚度的增加,(100)面衍射峰强度增强,薄膜的结晶性能提高;膜厚为56nm时,样品的表面为多孔结构,而大于56nm时表面为连续膜的球形颗粒结构;随膜厚的增加,表面颗粒直径逐渐增大,表面粗糙度减小.在400～2 000nm波长范围内,薄膜的透射率随膜厚的增加而减小,反射率升高;折射率在2.5与3.4之间,消光系数在0.7与1.4之间,折射率和消光系数均随膜厚的增加而增加.
- 吴杨微郑明志林丽梅林建平郑卫锋赖发春
- 关键词：钛光学性质表面形貌
- 一种金属-介质多层结构颜色可调的太阳光热吸收涂层
- 本发明涉及一种金属-介质多层结构颜色可调的太阳光热吸收涂层。所述的涂层在衬底上依次是红外反射层、吸收层、减反层。涂层的吸收层由金属涂层和介质涂层交替镀制而成，共2～7层，且自上而下第一层为金属涂层。涂层的颜色通过改变吸收...
- 赖发春吴杨微杨睿华林丽梅郑卫锋
- 文献传递
