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基于QPD的单透镜二维微角度传感器技术研究: 角度测量是计量科学的重要组成部分，特别是微小角度的测量在精密加工、航空航天、军事和通讯等许多领域都具有极其重要的意义和作用。目前，随着精密加工和超高速加工的发展，对在线测试的精度和速度都提出了新的要求，高精度高速度小角度...; 金伟锋; 关键词：角度传感器 LABVIEW

基于QPD的单透镜微角度测量系统及其关键技术研究被引量：1: 2011年; 介绍了一种基于QPD的单透镜微角度测量系统。通过对其关键技术如采取的光学原理、光学器件光电探测器的选择和离焦设置,小尺寸的可行性分析计算等,最后得出设计出一种结构紧凑,体积小,携带方便,灵敏度高,可测量微小角度的测量系统的可行性。同时通过实验得出测量系统大致的测量范围和测量精度。; 金伟锋廉孟冬居冰峰

用于扫描探针显微镜的螺旋式扫描方法: 本发明公开了一种用于扫描探针显微镜的螺旋式扫描方法。旋转空气轴承高速旋转，从旋转编码器获得旋转的角度，气浮导轨沿着待测工件的径向运动，从线性编码器获得气浮导轨的位移，旋转空气轴承和气浮导轨从而构成扫描模块，利用DSP综合...; 居冰峰伏明明金伟锋; 文献传递

在回转件上快速加工出大面积三维微纳结构的方法: 本发明公开了一种在回转件上快速加工出大面积三维微纳结构的方法。具有测力模块的快速刀具伺服控制系统使用压电致动器伺服控制微金刚石刀具的进给运动，具有测力模块的快速刀具伺服控制系统使用微小力传感器检测金刚石刀具尖端与工件表面...; 居冰峰金伟锋伏明明; 文献传递

二维光学自准直微角度传感器被引量：6: 2010年; 为实现表面微形貌测量以及精密平台的定位测量,设计了一种结构简单的小体积二维微角度传感器。该微角度传感器基于激光自准直原理,主要由作为光源的激光二极管、自准直光路和作为位置探测器的四象限光电二极管组成。分析计算发现,角度传感器的灵敏度与光路中物镜的焦距无关,因此选用了焦距较短的物镜,以实现小体积、高灵敏度的目的。四象限光电二极管具有二维位置探测能力,利用其作为光电转换装置,微角度传感器可以同时探测两轴角度变化值。实验结果表明,微角度传感器的体积可达到25×20×13 mm3,角度测量范围±1 200 arcsec,分辨率为0.1 arcsec。实验中利用激光自准直仪进行对照,有效验证了这种新型二维光学自准直微角度传感器的可行性。; 廉孟冬金伟锋居冰峰; 关键词：自准直

钦防海西-印支海槽西界断裂新探被引量：2: 2007年; 本文主要根据二维地震剖面并结合野外露头的分析认为,十万大山盆地东南缘的基底断裂是钦防海槽向北西冲断-推覆的前锋断层,断裂两侧的中、古生界在地层层位与厚度上存在明显差异。钦防海西-印支海槽的西界不应是灵山断裂,而应是十万大山盆地东南缘的基底断裂,其范围远大于现今博(白)—罗(定)—广(宁)断裂与灵山断裂之间的范围。基底断裂为一无根的推覆构造带,其下掩覆了十万大山盆地东南缘的许多区域,是下一步油气勘探的重要领域。; 何光玉吴冲龙潘家永于星胡安平金伟锋吴磊; 关键词：推覆构造十万大山盆地

低g值微惯性开关中阿基米德平面螺旋梁的设计被引量：1: 2017年; 针对低g值微惯性开关对微弹簧的系统刚度达到(0.1~10)N/m数量级的要求,设计了一种阿基米德平面螺旋梁结构的微惯性开关。根据材料力学中的卡氏定理和线弹性理论,推导了阿基米德平面螺旋梁的弹性系数计算公式,并与ANSYS有限元仿真分析结果进行了对比。基于推导的弹性系数计算公式设计了一种三根阿基米德平面螺旋梁支撑的动作阈值5.5gn的微惯性开关,并采用SOI硅片以及玻璃-硅-玻璃键合技术进行了加工,在离心转台上对开关实际动作阈值进行测试,并将测试值与设计值进行对比。结果表明,采用推导到的阿基米德平面螺旋梁弹性系数计算公式计算结果与ANSYS仿真结果相近,基于推导的弹性系数计算公式设计的三根阿基米德平面螺旋梁支撑的微惯性开关动作阈值设计值与实测值相近,单根阿基米德平面螺旋梁弹性系数约0.8 N/m,能够满足低g值微惯性开关低刚度的要求,推导的弹性系数计算公式能够用于基于阿基米德平面螺旋梁的低g值微惯性开关的设计。; 张凤田熊壮金伟锋唐彬; 关键词：阿基米德

用于扫描探针显微镜的螺旋式扫描方法: 本发明公开了一种用于扫描探针显微镜的螺旋式扫描方法。旋转空气轴承高速旋转，从旋转编码器获得旋转的角度，气浮导轨沿着待测工件的径向运动，从线性编码器获得气浮导轨的位移，旋转空气轴承和气浮导轨从而构成扫描模块，利用DSP综合...; 居冰峰伏明明金伟锋; 文献传递

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金伟锋