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鲍建飞

作品数：7 被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国际科技合作与交流专项项目更多>>
相关领域：理学机械工程电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇机械工程
  • 2篇理学
  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇信号
  • 3篇信号处理
  • 3篇信号处理系统
  • 3篇衍射
  • 3篇衍射光栅
  • 3篇衰减器
  • 3篇起偏器
  • 3篇光栅
  • 3篇方位角
  • 3篇波片
  • 2篇数据采集
  • 2篇数据采集与控...
  • 2篇位置敏感传感...
  • 2篇线性度
  • 2篇感器
  • 2篇标定方法
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇荧光
  • 1篇荧光检测

机构

  • 7篇中国科学院上...
  • 1篇中国科学院研...

作者

  • 7篇黄惠杰
  • 7篇鲍建飞
  • 6篇曾爱军
  • 4篇黄立华
  • 3篇肖艳芬
  • 3篇张佩
  • 3篇任冰强
  • 3篇朱玲琳
  • 3篇杨宝喜
  • 3篇彭雪峰
  • 3篇蔡舒窈
  • 2篇陈贝特
  • 1篇谢承科
  • 1篇胡小邦
  • 1篇屈建峰
  • 1篇王剑波
  • 1篇冯春霞

传媒

  • 1篇中国激光

年份

  • 1篇2014
  • 1篇2013
  • 2篇2012
  • 3篇2011
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
光刻机照明系统中光束稳定技术研究被引量：4
2012年
光束稳定技术是光刻机照明系统中一项重要的单元技术,其作用是将激光器出射的经长距离传输后的光束稳定在需要的指向和位置上,以保证照明系统具有稳定的光强分布。光束稳定系统主要由光束测量和光束转向两个功能模块组成,推导了两个模块之间的光束传递矩阵,并基于LabView搭建了光电闭环控制实验系统。对系统性能进行了测试,通过人为引入已知光束漂移量得到如下结果:系统的指向稳态误差低于±3μrad,位置稳态误差低于±0.04mm,系统调整时间小于80ms。结果表明该系统可以精确地把光束稳定在需要的指向和位置。
鲍建飞黄立华曾爱军任冰强杨宝喜彭雪峰胡小邦黄惠杰
关键词：光学设计光刻技术闭环控制
八分之一波片相位延迟量和快轴方位角的测量装置和方法
一种八分之一波片相位延迟量和快轴方位角的测量装置和方法，该装置由准直光源、圆起偏器、衍射光栅、聚焦透镜、衰减器、检偏器阵列、光电探测器阵列和信号处理系统组成，本发明能实时地测量八分之一波片的相位延迟量和快轴方位角，而且测...
朱玲琳张佩鲍建飞蔡舒窈肖艳芬曾爱军黄惠杰
位置敏感传感器的标定装置和标定方法
一种位置敏感传感器的标定装置和标定方法，该装置的构成包括照明单元、双光楔单元、指向敏感光路单元、位置敏感传感器、数据采集与控制单元和CCD光束监测单元。本发明具有结构简单，操作方便，标定方法准确可靠，可以快速标定位置敏感...
黄立华鲍建飞杨宝喜曾爱军任冰强彭雪峰陈贝特黄惠杰
文献传递
嵌入式免疫层析荧光检测系统及检测方法
一种嵌入式免疫层析荧光检测系统及检测方法，该检测系统包括上位机和荧光检测传感器。所述的荧光检测传感器完成荧光信号采集功能；所述的上位机完成控制及数据处理分析功能。上位机和荧光检测传感器通信由USB数据线完成。系统采用飞行...
王剑波黄立华冯春霞谢承科屈建峰鲍建飞黄惠杰
文献传递
位置敏感传感器的标定装置和标定方法
一种位置敏感传感器的标定装置和标定方法，该装置的构成包括照明单元、双光楔单元、指向敏感光路单元、位置敏感传感器、数据采集与控制单元和CCD光束监测单元。本发明具有结构简单，操作方便，标定方法准确可靠，可以快速标定位置敏感...
黄立华鲍建飞杨宝喜曾爱军任冰强彭雪峰陈贝特黄惠杰
八分之一波片相位延迟量和快轴方位角的测量装置和方法
一种八分之一波片相位延迟量和快轴方位角的测量装置和方法，该装置由准直光源、圆起偏器、衍射光栅、聚焦透镜、衰减器、检偏器阵列、光电探测器阵列和信号处理系统组成，本发明能实时地测量八分之一波片的相位延迟量和快轴方位角，而且测...
朱玲琳张佩鲍建飞蔡舒窈肖艳芬曾爱军黄惠杰
文献传递
八分之一波片相位延迟量和快轴方位角的测量装置
一种八分之一波片相位延迟量和快轴方位角的测量装置，该装置由准直光源、圆起偏器、衍射光栅、聚焦透镜、衰减器、检偏器阵列、光电探测器阵列和信号处理系统组成，本实用新型能实时地测量八分之一波片的相位延迟量和快轴方位角，而且测量...
朱玲琳张佩鲍建飞蔡舒窈肖艳芬曾爱军黄惠杰
文献传递
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