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包汉瑜
作品数:
2
被引量:2
H指数:1
供职机构:
天津大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
机械工程
理学
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合作作者
吴瑶瑶
天津大学精密仪器与光电子工程学...
吴森
天津大学精密仪器与光电子工程学...
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吴瑶瑶
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传感器与微系...
年份
2篇
2012
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微悬臂梁横向弹性系数标定关键技术的研究
原子力显微镜(AFM)在微纳米量级的操纵和加工领域有着广泛应用,作为其核心组件,微悬臂梁的力学性能至关重要。利用AFM进行表面摩擦力测量、纳米结构操纵和探针的纳米机械加工等工作皆需准确获知AFM微悬臂梁横向弹性系数值,该...
包汉瑜
关键词:
AFM
微悬臂梁
天平
文献传递
微悬臂梁横向弹性系数标定技术
被引量:2
2012年
微悬臂梁是新型力学传感器的关键部件,其性能决定力学测试结果的准确度。为了定量研究微悬臂梁与样品表面间的相互作用力,须对微悬臂梁的力学性能进行表征。提出了一种新的微悬臂梁横向弹性系数标定方案:采用精密天平和光杠杆分别测得微悬臂梁的横向扭转力和扭转量,进而可得到微悬臂梁的横向弹性系数。对3种型号的微悬臂梁进行了横向弹性系数的实际标定,结果表明:均方差均小于5%,重复性良好,且与有限元仿真值一致。
包汉瑜
吴森
吴瑶瑶
关键词:
微悬臂梁
天平
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