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包汉瑜

作品数:2 被引量:2H指数:1
供职机构:天津大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:机械工程理学一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 2篇天平
  • 2篇微悬臂梁
  • 1篇AFM

机构

  • 2篇天津大学

作者

  • 2篇包汉瑜
  • 1篇吴森
  • 1篇吴瑶瑶

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 2篇2012
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
微悬臂梁横向弹性系数标定关键技术的研究
原子力显微镜(AFM)在微纳米量级的操纵和加工领域有着广泛应用,作为其核心组件,微悬臂梁的力学性能至关重要。利用AFM进行表面摩擦力测量、纳米结构操纵和探针的纳米机械加工等工作皆需准确获知AFM微悬臂梁横向弹性系数值,该...
包汉瑜
关键词:AFM微悬臂梁天平
文献传递
微悬臂梁横向弹性系数标定技术被引量:2
2012年
微悬臂梁是新型力学传感器的关键部件,其性能决定力学测试结果的准确度。为了定量研究微悬臂梁与样品表面间的相互作用力,须对微悬臂梁的力学性能进行表征。提出了一种新的微悬臂梁横向弹性系数标定方案:采用精密天平和光杠杆分别测得微悬臂梁的横向扭转力和扭转量,进而可得到微悬臂梁的横向弹性系数。对3种型号的微悬臂梁进行了横向弹性系数的实际标定,结果表明:均方差均小于5%,重复性良好,且与有限元仿真值一致。
包汉瑜吴森吴瑶瑶
关键词:微悬臂梁天平
共1页<1>
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