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姚德启

作品数:8 被引量:5H指数:1
供职机构:中北大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信机械工程更多>>

文献类型

  • 7篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 3篇电子电信
  • 1篇机械工程

主题

  • 5篇光刻
  • 4篇掩膜
  • 4篇掩膜板
  • 4篇腔体
  • 4篇腔体结构
  • 4篇腔体滤波器
  • 4篇滤波器
  • 4篇毫米波
  • 2篇电镀
  • 2篇制作方法
  • 2篇模版
  • 2篇纳米
  • 2篇纳米级
  • 2篇光刻技术
  • 2篇光刻胶
  • 2篇光栅
  • 2篇PDMS
  • 1篇导电橡胶
  • 1篇电阻
  • 1篇电阻值

机构

  • 8篇中北大学

作者

  • 8篇张斌珍
  • 8篇姚德启
  • 6篇王万军
  • 6篇段俊萍
  • 6篇张勇
  • 6篇崔敏
  • 5篇范新磊
  • 4篇张安学
  • 4篇杨潞霞
  • 4篇王研
  • 3篇吴淑娟
  • 2篇郝晓剑
  • 2篇李向红
  • 1篇闫树斌
  • 1篇毛静
  • 1篇王伟
  • 1篇刘建林
  • 1篇贾志浩
  • 1篇杨玉华
  • 1篇张勇

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 3篇2014
  • 4篇2013
  • 1篇2012
8 条 记 录,以下是 1-8
排序方式:
基于PDMS的纳米级光栅制作方法
本发明涉及光栅制作技术领域,具体为一种基于PDMS的纳米级光栅制作方法,解决了现有的纳米光栅制作方法所用设备昂贵、工艺条件苛刻复杂、难以控制、制作成本高、周期长的问题。一种基于PDMS的纳米级光栅制作方法,包括如下步骤:...
闫树斌段俊萍张斌珍王万军王伟崔敏贾志浩张勇杨潞霞毛静范新磊姚德启
文献传递
毫米波腔体滤波器的制作方法
本发明为一种毫米波腔体滤波器的制作方法。本发明使用光刻胶作为辅助材料,使用电镀金属材料作为结构材料,并配合不同图案的掩膜板,采用多层匀胶、逐层光刻并显影、电镀、最终剥离固化的光刻胶的技术,可以精确构造出腔体滤波器复杂的三...
王万军段俊萍张斌珍张安学吴淑娟张勇王研姚德启崔敏王春水
毫米波腔体滤波器的制作方法
本发明为一种毫米波腔体滤波器的制作方法。本发明使用光刻胶作为辅助材料,使用电镀金属材料作为结构材料,并配合不同图案的掩膜板,采用多层匀胶、逐层光刻并显影、电镀、最终剥离固化的光刻胶的技术,可以精确构造出腔体滤波器复杂的三...
段俊萍王万军张安学张斌珍吴淑娟张勇王研姚德启崔敏王春水
文献传递
柔性三维力传感器及其解耦方法和制作方法
本发明公开了一种基于柔性导电橡胶的柔性三维力传感器并提出了制作方法。柔性三维力传感器的基体为柔性导电橡胶,中间由四层微电极和导线阵列组成,并且每一层的导线都外接信号处理电路,通过检测电阻值的变化从而测得三维力的大小。柔性...
张斌珍杨玉华王春水刘建林姚德启
文献传递
毫米波腔体滤波器的制作方法
本发明为一种毫米波腔体滤波器的制作方法。本发明使用光刻胶作为结构材料并配合不同图案的掩膜板,采用多层匀胶、逐层光刻、最终一次显影技术,可以精确构造出腔体滤波器复杂的三维结构。利用弹性优异的柔性材料PDMS对其进行翻模,构...
王万军段俊萍张斌珍张安学张勇王研杨潞霞崔敏姚德启范新磊郝晓剑李向红
毫米波腔体滤波器的制作方法
本发明为一种毫米波腔体滤波器的制作方法。本发明使用光刻胶作为结构材料并配合不同图案的掩膜板,采用多层匀胶、逐层光刻、最终一次显影技术,可以精确构造出腔体滤波器复杂的三维结构。利用弹性优异的柔性材料PDMS对其进行翻模,构...
王万军段俊萍张斌珍张安学张勇王研杨潞霞崔敏姚德启范新磊郝晓剑李向红
文献传递
主光轴平行于基底的微透镜阵列制作与测试被引量:5
2013年
应用SU-8负性感光胶的独特性能,采用水浴倾斜紫外光刻的方法,优化工艺参数,构造出主光轴平行于基底的球面微透镜阵列,其单个透镜的直径约为200μm。利用激光扫描共聚焦显微镜(LSCM)对微透镜的表面形貌及曲率半径进行测量,并搭建光学观测平台,测得透镜焦距并观察成像效果。经观测,所加工球面微透镜具有较好的表面形貌和成像效果。基于此方法加工的微透镜阵列,主光轴平行于基底,因而便于与其他光学系统进行片上集成,完成对光线的聚焦,最终实现光开关、扫描成像等功能。此微透镜阵列也将集成在微流式细胞仪上,用于样本流的荧光检测,可极大提高检测精度。
张勇张斌珍吴淑娟姚德启范新磊
关键词:微透镜阵列SU-8成像检测
基于PDMS的纳米级光栅制作方法
本发明涉及光栅制作技术领域,具体为一种基于PDMS的纳米级光栅制作方法,解决了现有的纳米光栅制作方法所用设备昂贵、工艺条件苛刻复杂、难以控制、制作成本高、周期长的问题。一种基于PDMS的纳米级光栅制作方法,包括如下步骤:...
王万军段俊萍张斌珍杨潞霞崔敏姚德启张勇范新磊
共1页<1>
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