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铝诱导表面织构玻璃及其对硅薄膜陷光作用的影响: 2015年; 采用铝诱导表面织构方法在玻璃衬底上制备了蜂窝状的凹坑结构;使用热丝化学气相沉积技术在该类衬底上制备了硅薄膜。扫描探针显微镜（SPM）图像表明,通过改变刻蚀时间、刻蚀溶液比例、Al膜厚度和退火时间等制备条件,可以有效控制玻璃表面凹坑结构的尺寸,使其在直径上从0.5μm到6μm,深度上从60 nm到700 nm可调。光吸收谱测试表明此类衬底对硅薄膜的光吸收有着明显的增强效果,以凹坑平均直径为2.3μm,深度为358nm的铝诱导表面织构玻璃为衬底所制备的厚度为150 nm的硅薄膜,在350~1200 nm波长范围内的光吸收与使用平面玻璃为衬底的样品相比可提高28.5%。凹坑的尺寸大小对光吸收增强效果有重要影响。; 刘勇曹勇董刚强郭宇坤刘丰珍; 关键词：热丝化学气相沉积硅薄膜陷光结构玻璃衬底

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董刚强