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张晓东
作品数:
6
被引量:5
H指数:1
供职机构:
中国科学院上海技术物理研究所
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发文基金:
上海市基础研究重大(重点)项目
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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电气工程
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合作作者
褚君浩
中国科学院上海技术物理研究所
孟祥建
中国科学院上海技术物理研究所
林铁
中国科学院上海技术物理研究所
孙璟兰
中国科学院上海技术物理研究所
石富文
中国科学院上海技术物理研究所
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机构
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中国科学院
作者
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张晓东
5篇
孙璟兰
5篇
林铁
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孟祥建
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褚君浩
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石富文
传媒
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红外与毫米波...
年份
2篇
2008
1篇
2007
3篇
2006
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低电阻率金属氧化物镍酸镧的制备方法
本发明公开了一种低电阻率金属氧化物镍酸镧薄膜的制备方法,该方法是通过采用磁控溅射的方法沉积镍酸镧薄膜,然后对镍酸镧薄膜进行高压氧热处理得到低电阻率的导电金属氧化物镍酸镧薄膜。该方法的优点是得到的薄膜电阻率极低,有利于器件...
褚君浩
张晓东
孟祥建
孙璟兰
林铁
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可与读出电路集成的锆钛酸铅铁电簿膜材料的制备方法
本发明公开了一种可与读出电路集成的锆钛酸铅铁电薄膜材料的制备方法,该方法是通过低温原位磁控溅射生长,然后,进行高压低温处理而实现的。本发明方法的最大优点是:在400℃的低温下,可以得到高度(100)取向的纯钙钛矿相PZT...
褚君浩
张晓东
孟祥建
孙璟兰
林铁
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低电阻率金属氧化物镍酸镧的制备方法
本发明公开了一种低电阻率金属氧化物镍酸镧薄膜的制备方法,该方法是通过采用磁控溅射的方法沉积镍酸镧薄膜,然后对镍酸镧薄膜进行高压氧热处理得到低电阻率的导电金属氧化物镍酸镧薄膜。该方法的优点是得到的薄膜电阻率极低,有利于器件...
褚君浩
张晓东
孟祥建
孙璟兰
林铁
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PZT及LNO的溅射制备及其低温晶化研究
铁电薄膜作为在光波导、光电子、微型机械、红外探测器和新一代的存储器件的候选材料而被广泛地研究和开发利用。本论文以发展铁电薄膜及相关金属性导电氧化物底电极材料制备工艺、材料物理性质的研究和解决红外探测器件研制过程中出现的一...
张晓东
关键词:
铁电薄膜
电滞回线
用SiO_2气凝胶做隔热层的铁电薄膜红外探测器性能与铁电薄膜层厚度的关系
被引量:5
2007年
研究了铁电薄膜红外探测器响应率等器件参数随铁电薄膜厚度的变化.器件的隔热层结构采用气凝胶二氧化硅.实验发现器件的热释电系数,吸收率以及热导均随膜厚增加而增加.铁电膜层厚度为240nm的器件,其热导与微桥结构器件的热导相近,都为10-7W/K量级,证明气凝胶二氧化硅做隔热层能够制备出性能优良的热释电红外探测器.随着薄膜厚度增加,热导急剧增大,这是引起器件响应率降低的原因.制备铁电薄膜过程中的多次650°高温退火可能降低了二氧化硅多孔率.
林铁
孙璟兰
孟祥建
马建华
石富文
张晓东
汪琳
陈静
褚君浩
关键词:
红外探测器
二氧化硅气凝胶
可与读出电路集成的锆钛酸铅铁电薄膜材料的制备方法
本发明公开了一种可与读出电路集成的锆钛酸铅铁电薄膜材料的制备方法,该方法是通过低温原位磁控溅射生长,然后,进行高压低温处理而实现的。本发明方法的最大优点是:在400℃的低温下,可以得到高度(100)取向的纯钙钛矿相PZT...
褚君浩
张晓东
孟祥建
孙璟兰
林铁
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