朱晓博
- 作品数：3 被引量：13H指数：3
- 供职机构：上海交通大学机械与动力工程学院更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信更多>>
- 一种垂直运动精密微定位平台的设计与分析被引量：7
- 2016年
- 根据桥式放大机构和平行四边形导向机构相结合设计了一种新型的垂直运动精密微定位平台。利用卡式定理推导了微定位平台的最大行程、刚度及放大比,利用拉格朗日方程推导了微定位平台的动力学模型及其固有频率。采用有限元仿真软件分析微定位平台的动静力学特性,并与理论分析结果进行对比,两者结果吻合良好。制造了微定位平台的原型样机,并进行了实验验证,实验结果表明:垂直运动精密微定位平台的行程可达112.9μm,闭环分辨率为10 nm,可以用于显微镜聚焦系统的微调等垂直定位精度较高的场合。
- 徐骁任佳琦朱晓博刘品宽
- 关键词：柔性铰链压电陶瓷驱动器微定位
- 粘滑式压电驱动平台的复合控制被引量：3
- 2019年
- 粘滑式压电驱动平台能实现高精度的大行程运动,它由微动台和滑块组成,而微动台的低阻尼振动限制了粘滑式压电驱动平台的运动速度。为了解决这一问题,提出了一种基于主动阻尼的复合控制策略(PI-DPF-FF)。首先,对输入的锯齿波信号进行滤波,使其更平滑。接着,采用时滞位置反馈控制器来主动提高微动台的阻尼,抑制振动。选用跟踪控制器和改进型零相位误差跟踪控制器来减小跟踪误差,提高跟踪带宽。最后,在粘滑式压电驱动平台的样机上对PI-DPF-FF控制器进行了验证。实验结果表明与常规的比例积分控制器相比,PI-DPF-FF控制器将微动台跟踪带宽由32.7 Hz提高到1466.5 Hz。当系统输入占空比为0.2和频率为100 Hz的信号时,与常规的前馈控制器相比,PI-DPF-FF控制器将滑块角速度由3.52 mrad/s提高到9.03 mrad/s,平台运动速度有了明显的提高。
- 徐斯强朱晓博刘品宽
- 关键词：压电驱动复合控制微动台
- 晶圆预对准系统定位算法研究被引量：3
- 2013年
- 为提高光刻机生产效率与国产化普及程度,论文设计了一种高效、低成本晶圆预对准装置。根据装置采样点数较低、预对准时间短的特性,对最小二乘圆法及质心法两种算法在晶圆形心定位中的使用特点进行探究,并通过仿真进行验证。提出最小二乘圆法较适用6 000点及以下低采样点的形心定位,而质心法在高采样点形心定位中更为适合,且有较强抗干扰能力。
- 梁家欣朱晓博刘品宽
- 关键词：质心法
