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董晓辉

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：电子科技大学更多>>
发文基金：工业与信息化部工业与信息化部电子信息产业发展基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇红外
  • 2篇红外辐射
  • 2篇红外辐射源
  • 1篇调制深度
  • 1篇微机电系统
  • 1篇机电系统
  • 1篇硅基
  • 1篇仿真
  • 1篇MEMS工艺
  • 1篇电系统

机构

  • 2篇电子科技大学

作者

  • 2篇董晓辉
  • 1篇吴传贵
  • 1篇罗文博
  • 1篇彭强祥

传媒

  • 1篇电子元件与材...

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2011
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
薄膜电阻型红外辐射源的仿真设计与加工工艺研究
本论文是制备出具有悬臂梁结构的薄膜电阻型红外辐射源。在模拟加热电阻图形和研究器件加工工艺基础之上，对制备的红外辐射源进行了性能测试。具体内容如下：　　1．通过对各种金属材料和器件结构的比较，确定Pt、Ti为加热电阻的材料...
董晓辉
关键词：红外辐射源
文献传递
基于MEMS工艺的硅基红外辐射源研制
2011年
利用微机电系统(MEMS)制造工艺制备出了一种硅基红外辐射源。该辐射源采用单晶硅为衬底,通过直流溅射沉积Pt/Ti薄膜,并利用深反应离子刻蚀与湿法腐蚀工艺制备隔离槽和释放支撑层。研究了支撑层厚度对红外辐射源辐射特性的影响。结果表明,随着支撑层厚度的减小,红外辐射源的调制驱动电压会降低。当支撑层厚度为1μm时,辐射源调制频率在50%的调制深度下达13 Hz,其频响特性已基本满足红外传感器系统的应用要求。
董晓辉吴传贵罗文博彭强祥唐志军
关键词：红外辐射源微机电系统调制深度
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