2024年11月28日
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蔡耀
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83
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武汉大学
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国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
孙成亮
武汉大学
刘炎
武汉大学
邹杨
武汉大学
周杰
武汉大学
刘文娟
武汉大学
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一种高灵敏度的压电麦克风及制作方法
本发明公开了一种高灵敏度的压电麦克风及制作方法,压电麦克风包括具有空腔的基底和位于基底上的压电堆叠结构,基底上的空腔为真空的振动空腔,压电堆叠结构依次包括底部电极,压电薄膜和顶部电极,基底包括基底底层,基底中间层和基底顶...
唐楚滢
蔡耀
周杰
邹杨
孙成亮
文献传递
一种压电-挠曲电耦合的薄膜体声波谐振器及其制备方法
本发明公开了一种压电‑挠曲电耦合的薄膜体声波谐振器及其制备方法,所述谐振器包括由下至上堆叠设置的衬底、种子层、下电极层、压电层、挠曲电耦合层和上电极层;所述挠曲电耦合层由两种不同的压电材料以相同厚度周期性堆叠而成。本发明...
蔡耀
任玉奇
孙成亮
刘炎
许秉乾
徐沁文
李海洋
黄潇鸣
王融汇
郑宇鹏
一种集成无线无源薄膜智能传感系统及其制备方法和应用
本发明公开了一种集成无线无源薄膜智能传感系统及其制备方法和应用,传感系统包括压电基底、叉指电极、第一反射栅、第二反射栅和质量块;压电基底由下至上包括带有凹槽的衬底和压电层,压电层和衬底形成空腔;叉指电极位于压电基底顶端且...
刘炎
曲远航
孙成亮
刘泽晟
谷曦宇
魏民
陈祥
丁嘉祺
蔡耀
国世上
有效机电耦合系数可调的超高频谐振器
本发明公开了一种有效机电耦合系数可调的超高频谐振器,其结构包括:沟槽,电极,压电薄膜;电极位于压电薄膜上表面。沟槽横截面为矩形、梯形、弧形中任一种,长度方向与电极长度方向一致,沟槽数目、宽度和深度据实际情况确定。沟槽可位...
孙成亮
温志伟
刘文娟
蔡耀
刘婕妤
徐沁文
谷曦宇
曲远航
文献传递
一种高频定点药物吸收促进装置
本发明提供一种高频定点药物吸收促进装置,包括控制器、插入装置和给药吸收模块,所述插入装置包括管状壳体和位于管状壳体前端的端头,所述控制器与管状壳体后端连接,所述给药吸收模块包括给药组件和吸收组件,其中给药组件包括给药管路...
周禹
江宏强
孙成亮
蔡耀
周芙玲
许炳乾
黎鑫琦
吴童
程瑾冉
宋兰
基于微环谐振腔的MOEMS三轴加速度传感器及其制备方法
一种基于微环谐振腔的MOEMS三轴加速度传感器及其制备方法,涉及微光机电系统(MOEMS)中的惯性器件领域。该传感器包括含有空腔(20)的基底(10),空腔(20)上表面为一层薄膜(30);薄膜(30)下方附着有一个质量...
王融汇
孙成亮
蔡耀
范宇晨
刘炎
许秉乾
基于声子晶体的薄膜体声波谐振器
本发明提供一种基于声子晶体的薄膜体声波谐振器,包括衬底;声子晶体层,声子晶体交叠沉积在衬底表面上,散射体周期排列在基体材料中,散射体的材料与基体不同;压电振荡堆层,由下至上包括底电极,压电材料薄膜和顶电极。本发明利用材料...
谢英
孙成亮
蔡耀
王雅馨
刘炎
高超
文献传递
一种二维兰姆波谐振器
本发明属于谐振器技术领域,公开了一种二维兰姆波谐振器,压电层的上下两面布置第一电极阵列、第二电极阵列,第一电极阵列、第二电极阵列分别包括沿第一方向、第二方向排列的多条正电极列、第一负电极列,且正电极列和负电极列交替排布;...
周杰
刘婕妤
孙成亮
徐沁文
蔡耀
邹杨
胡博豪
高超
文献传递
一种在布拉格反射层内集成无源电路的固态装配型谐振器
本发明公开了一种在布拉格反射层内集成无源电路的固态装配型谐振器。该固态装配型谐振器包括声波谐振器、布拉格反射层和无源电路器件。其中无源电路器件集成在布拉格反射层内,与谐振器通过金属化过孔的方式实现电气连接。本发明解决了现...
孙成亮
王艺霖
刘炎
蔡耀
刘文娟
曲远航
魏民
丁嘉祺
一种薄膜体声波谐振器及其制备方法
本发明公开了一种薄膜体声波谐振器及其制备方法,包括基底、空腔和压电堆叠结构;压电堆叠结构从下而上依次为底电极、压电材料层和顶电极;压电材料层由压电材料有效区域、压电材料外部区域、锚组成;压电材料有效区域小于空腔面积。压电...
孙成亮
粘来霞
蔡耀
高超
邹杨
谢英
刘炎
周杰
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