邵晶
- 作品数：28 被引量：37H指数：4
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信理学自动化与计算机技术更多>>
- 基于相位复原技术测试高数值孔径光学成像系统被引量：1
- 2013年
- 干涉测量的方法已被广泛应用于光学系统的波前测试中。但是由于高数值孔径的标准具加工成本高、风险大,使用干涉测量的方法对高数值孔径光学系统进行测试存在困难。运用相位复原技术对高数值以小孔衍射光束作为高精度测试基准波前进行孔径光学系统波前测试,可以解决上述问题。对不同频率波前形成的点扩散函数模拟,分析了实际测试所需的实验条件。由于缺乏高精度的对比实验条件,引入一种新的误差分析方法,搭建检测平台完成对显微镜光学系统的波前测试。通过验证实验,证明了该测试方法的可靠性。
- 邵晶马冬梅
- 关键词：干涉仪
- 相位复原测试过程中消除系统误差的绝对标定方法
- 相位复原测试过程中消除系统误差的绝对标定方法，涉及光学测试过程中系统误差的标定领域，该方法通过对不同状态下的测量值进行差值分析，最终消除系统误差，获得真实的波前信息。该方法包括将光学采集系统放置在精密调整机构上，测量相应...
- 马冬梅邵晶
- 文献传递
- 一种测试小视场短焦距光学系统焦距的方法
- 焦距是评判显微物镜质量和放大倍率的一个重要参数,但是高倍率显微物镜具有小视场短焦距的特点,通过常规的方法难以进行准确的测定.采用了一种基于放大率法多次基准传递的方法对高倍率显微物镜的焦距进行准确测定.该方法先采用放大倍率...
- 邵晶马冬梅聂真威
- 关键词：FOCALLENGTHMAGNIFICATIONMICROSCOPICLENS
- 高精度大型恒温控制系统
- 高精度大型恒温控制系统，涉及恒温控制技术领域，它解决现有恒温控制系统无法满足点衍射干涉仪使用要求的问题，该系统包括恒温室、恒温控制门和恒温控制液体循环装置，所述恒温室由多块壁板组成；所述壁板内设置流通循环液体的水管，所述...
- 金春水王平倬李向新马冬梅孟庆华邵晶
- 文献传递
- 相位复原测试过程中消除系统误差的绝对标定方法
- 相位复原测试过程中消除系统误差的绝对标定方法，涉及光学测试过程中系统误差的标定领域，该方法通过对不同状态下的测量值进行差值分析，最终消除系统误差，获得真实的波前信息。该方法包括将光学采集系统放置在精密调整机构上，测量相应...
- 马冬梅邵晶
- 文献传递
- 不同Zernike多项式求取环孔径波面像差的研究被引量：6
- 2010年
- 由于Zernike环多项式各项在环域上正交,以此为基准可以得到Zernike圆多项式拟合环孔径波面求解Seidel像差系数的误差。为了对Zernike圆多项式与环多项式求解的Seidel系数进行准确的比较,根据波像差理论推导并建立对比实验模型,进行量化比较。比较对于具有较大遮拦比的环孔径波面采用Zernike环多项式拟合与采用Zernike圆多项式拟合求取Seidel系数的差别。实验结果表明,采用Zernike圆多项式进行拟合求取Seidel系数时,主要的相对误差存在于离焦、球差和慧差。9项Zernike圆多项式拟合求取的Seidel系数比36项Zernike圆多项式更接近Zernike环多项式求取的系数。同时,如果参与拟合的项数继续减少,求取的Seidel误差反而增大。
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- 关键词：ZERNIKE多项式最小二乘法
- 一种提高点衍射干涉仪测试精度的方法
- 一种提高点衍射干涉仪测试精度的方法属于点衍射干涉仪测试领域，该方法包括如下步骤：将会聚镜头和小孔板同光轴放置，平行光源通过会聚镜头会聚，经由小孔板出射，一部分光线形成测试光，另一部分光线做为参考光，测试光和参考光在相机成...
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- 文献传递
- 迭代最小二乘法用于非线性移相器的标定被引量：4
- 2013年
- 针对移相干涉仪中移相器的非线性会影响测量结果准确性的问题,提出了一种基于迭代最小二乘拟合的标定干涉仪移相器的新方法。对移相器加电压并采集若干幅干涉图后,通过在帧间和帧内迭代开展最小二乘拟合可计算出干涉图间移相值,从而得出了电压值与移相值的对应关系曲线,通过对曲线作非线性拟合并对电压值进行精密调整,完成移相器的精确标定。在改造后的干涉仪上对此标定方法进行验证,与Zygo干涉仪相比,相同元件下两者测量结果之差的RMS值为1.726nm。该标定方法可以降低高精度面形测量干涉仪对移相器线性度的要求。
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- 关键词：光学检测非线性
- 点衍射干涉仪基准波前质量测评研究
- 点衍射干涉仪利用极小孔径衍射形成近乎理想的球面波作为测试基准波前。这种干涉仪具有极高的检测精度，可以为高精度光刻投影曝光系统的研制提供技术支持。在实际应用中获得高精度基准波前是点衍射干涉仪研制的关键环节之一。因此，对衍射...
- 邵晶
- 关键词：极紫外光刻点衍射干涉仪光学检测
- 文献传递
- 基于位相复原波前测试方法的误差分析
- 在光学系统的加工和装调过程中,需要通过测试光学系统的波前来掌握光学系统所处的状态。干涉仪作为一种高精密的光学波前测量设备被广泛应用于光学系统加工和研制过程中。干涉仪利用参考光束和测试光束相干涉,产生干涉条纹,通过分析干涉...
- 邵晶马冬梅
- 文献传递
