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余金星

作品数：4 被引量：1H指数：1
供职机构：北京师范大学化学学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇会议论文
  • 1篇期刊文章
  • 1篇专利

领域

  • 3篇化学工程

主题

  • 3篇增感
  • 3篇光产酸剂
  • 3篇感光
  • 2篇抗蚀剂
  • 2篇化学增感
  • 2篇光致
  • 2篇光致抗蚀剂
  • 2篇含碘
  • 2篇感光材料
  • 2篇I
  • 1篇增感剂
  • 1篇增感染料
  • 1篇直接制版
  • 1篇制版
  • 1篇酸解
  • 1篇染料
  • 1篇敏化
  • 1篇敏化剂
  • 1篇宽容
  • 1篇宽容度

机构

  • 4篇北京师范大学

作者

  • 4篇王力元
  • 4篇余金星
  • 2篇刘娟
  • 2篇孔繁荣

传媒

  • 1篇影像科学与光...

年份

  • 3篇2011
  • 1篇2010
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
一种含可酸分解保护基的重氮萘醌磺酸酯感光剂及其合成方法
本发明涉及一种新型的重氮萘醌磺酸酯感光剂及其合成方法，此重氮萘醌磺酸酯感光剂含可酸分解保护基，在光产酸剂的存在下，曝光时即发生传统的重氮萘醌磺酸酯的光解，还发生光产酸剂光照产酸并导致保护基发生酸解，因此也是一种化学增幅型...
王力元余金星
文献传递
一种新颖的正型化学增幅型i-线分子玻璃抗蚀剂
分子玻璃光致抗蚀剂材料因其具有单分散性、无定形性、可获得高分辨率图形及低线边缘粗糙度等优点，已受到了较大的关注。本文设计并合成了一种新颖的正型化学增幅型i-线分子玻璃抗蚀剂材料，这种分子玻璃化合物易溶于常用的有机溶剂，同...
余金星王力元
关键词：感光材料化学增感光致抗蚀剂
含碘鎓盐光产酸剂和染料增感剂的化学增幅型i-线正性光致抗蚀剂
本文对含碘鎓盐光产酸剂和染料增感剂的化学增幅型i-线正性光致抗蚀剂进行了研究。4,4 ，-二甲苯基三氟甲磺酸碘鎓盐可以被染料增感，在365nm光照时分解产酸。尽管产生的酸与染料的胺基发生作用，依然能在后烘过程中催化缩醛聚...
刘娟孔繁荣余金星王力元
关键词：感光材料化学增感光致抗蚀剂
含碘鎓盐光产酸剂和增感染料的化学增幅型i-线正性光致抗蚀剂被引量：1
2011年
4,4′-二甲苯基三氟甲磺酸碘鎓盐可以被染料增感,在365nm光照时分解产酸.尽管产生的酸与染料的胺基发生作用,依然能在后烘过程中催化缩醛聚合物酸敏基团的分解,但需要稍高的后烘温度和稍长的后烘时间.基于此,本文将酚醛树脂、缩醛聚合物、碘鎓盐产酸剂和染料组成了一种新型的化学增幅型i-线正性光致抗蚀剂材料,在曝光量为100mJ/cm2时可得到分辨率为0.8μm的清晰图形.染料与鎓盐光产酸剂组成的感光体系具有很好的漂白性,改善了抗蚀剂材料的透明性.
刘娟孔繁荣余金星王力元
关键词：敏化剂染料酸解
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