宋伟红
- 作品数:25 被引量:21H指数:3
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:机械工程理学文化科学自动化与计算机技术更多>>
- 一种光学元件自重变形量的测定方法
- 本发明公开一种光学元件自重变形量的测定方法,获取被测光学元件在全重力作用状态下的面形数据,标定干涉仪和标准镜组成的系统的误差;保持干涉仪的参数及位置不变,使被测光学元件没入不同深度的重液,获得被测光学元件的被测面在不同重...
- 顾伟伍凡侯溪万勇建李世芳宋伟红赵文川
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- 一种绕光轴旋转对准误差分析方法
- 本发明公开了一种绕光轴旋转对准误差分析方法。首先对初始位置处测得的面形数据进行泽尼克条纹多项式拟合,提取旋转对称项的拟合系数;然后将被测光学元件绕光轴旋转一定角度,对测得的面形数据同样进行多项式拟合并提取旋转对称项的系数...
- 侯溪宋伟红伍凡吴永前万勇建
- 一种球面面形误差绝对检测方法
- 本发明公开了一种球面面形误差绝对检测方法,利用被测球面在共焦位置多次旋转和共心平移的测量数据,采用基于Zernike多项式拟合的旋转平移算法,构建关于被测球面和参考面Zernike多项式系数的方程系,运用最小二乘法解得Z...
- 宋伟红侯溪李世芳赵文川吴高峰徐燕毛洁吴永前万勇建
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- 一种滤除干涉检测数据中随机噪声的滤波方法
- 本发明公开了一种滤除干涉检测数据中随机噪声的滤波方法,该方法以选取的数据点为中心点,采用多次函数对滤波窗口(滤波窗口大小可调)内的数据进行基于最小二乘法的多项式拟合(多次函数阶数可选),得到多项式系数,并以常数项系数作为...
- 宋伟红李世芳侯溪赵文川吴高峰徐燕毛洁吴永前万勇建
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- 一种光学面形数据旋转中心、旋转角度和平移量确定方法
- 本发明公开了一种光学面形数据旋转中心、旋转角度和平移量确定方法,首先在被测光学元件表面上选取多个特征标记点,当被测光学元件绕光轴作多次旋转和平移操作时,其待测面面形检测数据中的特征标记点会相对旋转中心产生旋转和平移;然后...
- 宋伟红侯溪伍凡李世芳吴永前万勇建
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- 离轴非球面的条纹反射检测技术被引量:6
- 2018年
- 条纹反射测量技术具有动态范围大、灵敏度高的特点,通过高精度的系统标定可以获得很高的测量精度。本文研究将条纹反射测量技术应用于离轴非球面反射镜粗抛光阶段的面形检测,使用激光跟踪仪建立检测系统坐标系,然后将相机和显示屏的实测标定数据代入坐标系并在Zemax软件中建立测量装置的理想模型,通过光线追迹得到理想的屏幕像素点位置,采用相移技术可以得到实测时屏幕像素点位置,从而计算得到被测镜面形的斜率误差,最后积分得到检测结果。文中采用该方法对一块SiC离轴非球面镜进行了实测,并与三坐标测量机的结果进行对比,验证了方法的可行性,可用于指导离轴非球面镜粗抛光阶段的加工。
- 赵文川周敏刘海涛肖向海宋伟红
- 关键词:离轴非球面光线追迹
- 一种装卡光学元件的力反馈精密支撑装置
- 本发明涉及一种装卡光学元件的力反馈精密支撑装置,该装置包括基座(1)、主支撑(2)、辅助支撑(3)和控制系统(4)。主支撑(2)和辅助支撑(3)环绕排列,固定在基座(1)上。主支撑(2)为三个刚性支点;若干辅助支撑(3)...
- 杨汉生侯溪雷柏平张娟万勇建吴永前吴高峰宋伟红
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- 一种光学面形数据旋转中心、旋转角度和平移量确定方法
- 本发明公开了一种光学面形数据旋转中心、旋转角度和平移量确定方法,首先在被测光学元件表面上选取多个特征标记点,当被测光学元件绕光轴作多次旋转和平移操作时,其待测面面形检测数据中的特征标记点会相对旋转中心产生旋转和平移;然后...
- 宋伟红侯溪伍凡李世芳吴永前万勇建
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- 一种光学干涉检测同轴度控制方法
- 本发明涉及一种光学干涉检测同轴度控制方法,其可以实现干涉仪光轴和被测镜面中心旋转轴的同轴度检测和控制,包括干涉仪(1)、标准镜(2)、被测镜面(3)、六维调整架和计算机(8)。转动六维调整架的转台(5)绕光轴旋转被测镜面...
- 宋伟红伍凡侯溪
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- 基于单次旋转的旋转非对称面形误差绝对检测技术研究被引量:8
- 2012年
- 绝对检测技术是剔除干涉仪系统误差进而提高面形检测精度的有效手段。基于单次旋转的绝对检测技术由被测球面绕光轴旋转前后的检测数据,采用基于最小二乘法的Zernike多项式拟合,剔除系统误差,获得被测面的旋转非对称面形误差。详细推导了理论计算公式,分析了单次旋转角度对算法检测精度的影响,并和多次旋转法作了对比,其残差均方根(RMS)值约为1.5nm。该方法只需一次旋转两次检测,在保证检测精度的同时简化了检测过程。
- 宋伟红伍凡侯溪
- 关键词:光学检测