张金城 作品数:7 被引量:0 H指数:0 供职机构: 中山大学 更多>> 发文基金: 国家教育部博士点基金 国际科技合作与交流专项项目 国家自然科学基金 更多>> 相关领域: 电子电信 更多>>
低温AlN插入层对Si基AlGaN/GaN异质结构材料特性的影响研究 GaN材料体系以其禁带宽度大、耐高压、耐高温等优越性能非常适合制作微波放大及功率开关器件,AlGaN/GaN异质结构是其中的代表.在生长GaN外延层的几种可能衬底材料(蓝宝石、SiC、Si和GaN)中,Si衬底有明显的低... 杨帆 贺致远 倪毅强 姚尧 王硕 张金城 吴志盛 张佰君 刘扬一种GaN增强型MIS-HFET器件及其制备方法 本发明涉及半导体器件技术领域,具体涉及一种GaN增强型MIS-HFET器件及其制作方法。本发明的器件包括栅极、源极、漏极、绝缘介质层和衬底,所述衬底上由下往上依次设有应力缓冲层、第一GaN层和选择生长层,所述选择生长层包... 刘扬 张金城 贺致远 张佰君文献传递 场板结构对AlGaN/GaN HFET电场分布的影响 2014年 场板结构可以有效抑制横向型HFET器件栅极边缘的电场集边效应,降低尖峰电场峰值,从而大幅提高器件的耐压特性。利用Sentaurus TCAD工具,构建具有场板结构的HFET器件,研究了场板长度和钝化层的厚度对器件沟道电场分布的影响,归纳出场板结构设计的基本规律和一般方法。 王硕 张炜 姚尧 张金城 刘扬关键词:氮化镓 场板结构 击穿电压 增强型GaN MOSFET的制备及其绝缘栅的电荷特性研究 2015年 采用ICP干法刻蚀和PECVD沉积技术,制备了增强型Si衬底SiO2/GaN MOS栅场效应晶体管(MOSFET)。SiO2/GaN MOSFET转移特性曲线测试中出现阈值电压不稳定现象,针对其阈值电压稳定性问题,采用正向电压偏置方法对SiO2/GaN MOSFET的绝缘栅电荷特性展开研究。正向电压偏置后,器件的转移特性曲线和高频C-V特性曲线均正向偏移,研究表明:SiO2/GaN之间存在的界面态和靠近SiO2/GaN界面的SiO2内部陷阱是造成SiO2/GaN MOSFET阈值电压不稳定的原因,实验研究结果同时表明氮气1 000℃快速热退火(RTA)对SiO2内部陷阱有改善作用。 周桂林 张金城 沈震 杨帆 姚尧 钟健 郑越 张佰君 敖金平 刘扬关键词:氮化镓 场效应管 等离子增强化学气相沉积 表面态对AlGaN/GaN异质结构2DEG影响的模拟分析 2014年 利用模拟软件研究施主表面态特性与AlGaN/GaN异质结构中二维电子气(2dimensional electron gas,2DEG)形成之间的关系,分析施主表面态电离过程以及表面态能级位置、表面态密度的影响。结果表明:施主表面态为2DEG的电子来源;AlGaN能带分布及2DEG密度随AlGaN厚度、施主表面态能级位置、施主表面态密度的改变而改变。 杨帆 林哲雄 张炜 张金城 王硕 贺致远 倪毅强 刘扬关键词:半导体物理学 一种GaN增强型MIS-HFET器件及其制备方法 本发明涉及半导体器件技术领域,具体涉及一种GaN增强型MIS-HFET器件及其制作方法。本发明的器件包括栅极、源极、漏极、绝缘介质层和衬底,所述衬底上由下往上依次设有应力缓冲层、第一GaN层和选择生长层,所述选择生长层包... 刘扬 张金城 贺致远 张佰君文献传递 采用选择区域外延技术制备的常关型Si衬底GaN MOSFET的特性研究 在功率开关应用领域,为了保障失效安全,常关型器件的实现是非常有必要的.本文采用选择区域外延(SAG)技术,即:在金属有机化学气相外延(MOCVD)外延生长形成的半绝缘(SI)GaN/Si基底上,选择性地在接入区生长AlG... 姚尧 吴志盛 张佰君 刘扬 贺致远 杨帆 沈震 张金城 王硕 周桂林 钟健 郑越