陈代谢
- 作品数:26 被引量:22H指数:3
- 供职机构:中国科学院电工研究所更多>>
- 发文基金:北京市自然科学基金国家科技支撑计划国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域:电子电信机械工程自动化与计算机技术电气工程更多>>
- SPM高分辨图形数据处理方法
- 一种SPM高分辨图形数据处理方法,其特征在于采用误差信号对原始成像数据进行算法补偿。SPM在Z方向的扫描采用PID反馈控制方法。记录每个扫描点的原始成像数据Uz和误差数据error。原始成像数据Uz一方面驱动压电陶瓷Z向...
- 陈代谢韩立林云生
- 文献传递
- 一种微纳米尺度耦合振动高分辨测量方法
- 一种微纳米尺度耦合振动高分辨测量方法。该方法基于原子力显微镜AFM成像技术,首先使钝化的AFM探针与扫描器上的光滑样品表面接触,通过高压驱动器驱动扫描器带动样品做X轴方向往复扫描运动,利用光电探测器同步检测AFM探针Z轴...
- 殷伯华陈代谢韩立刘俊标林云生初明璋
- 文献传递
- 电线积冰自动化数据采集系统研究
- 2009年
- 针对现有电线积冰检测方法中完全依赖于人工观测带来数据缺乏连续性、计量误差较大的现状,设计了一种可对导线积冰数据实时观测的自动化采集系统。可实现将传感器接收到的力信号在PC/104平台的控制下经过A/D采样、多路数据流批处理、误差修正得到实时的积冰强度数据,通过软件来设定合理的时间间隔存储数据并可根据需要在屏幕实时显示。具有低功耗、结构简单、操作方便、低温环境可长时间稳定工作等特点,可作为气象观测部门电线积冰观测中一种有效的计量参考设备。
- 王春雷吕凝李秀华张昕陈代谢韩立
- 关键词:电线积冰传感器封装结构自动化
- 扫描探针显微镜进针装置及方法
- 一种扫描探针显微镜进针装置,其步进电机(8)以垂直于水平面方向固定在扫描探针显微镜进针装置的底座,步进电机(8)连接压电陶瓷扫描器(7);压电陶瓷扫描器(7)上设置样品台(11);探针(2)针尖朝下,位于样品台(11)的...
- 陈代谢殷伯华韩立林云生初明璋高莹莹
- 文献传递
- 微纳米尺度动态耦合振动的单点跟踪测量方法
- 一种微纳米尺度动态耦合振动的单点跟踪测量方法。首先使AFM探针在未接触平板扫描器表面的情况下,驱动压电扫描器带动探针以一定频率和幅值进行X方向往复扫描运动,实时记录探针Z方向偏转以获得压电扫描器Z方向振动模态;然后通过自...
- 陈代谢殷伯华韩立刘俊标林云生初明璋
- 文献传递
- 高速高精度SPM研究现状及发展趋势被引量:1
- 2010年
- 如何实现高速高精度的扫描探针显微镜(SPM)扫描已经成为国际上研究的一个热点问题,扫描器动态响应性能的好坏、控制算法的优化以及电子学系统的设计等,都将影响SPM的扫描速度和精度。本文介绍了SPM在半导体工业检测和生物检测等应用中的不足,归纳了国际上对高速SPM研究的主要研究成果,分析了各个研究方法的特点和不足,对实现高速SPM扫描的主要问题进行了概括总结。
- 陈代谢殷伯华林云生初明璋韩立
- 关键词:扫描探针显微镜
- 高速大扫描范围原子力显微镜系统的设计被引量:6
- 2011年
- 针对目前高速扫描型原子力显微镜(AFM)主要是限于物检测且扫描速度和扫描范围均有待提高,提出了一种高速原子力显微镜结构设计方案。在压电陶瓷致动器驱动的柔性铰链结构式位移台的基础上,构建了AFM大范围扫描器,使原子力显微镜在x-y扫描方向的运动范围达到了100μm×100μm。通过傅里叶频谱分析,计算获得了AFM扫描器常用的三角波驱动信号和正弦波驱动信号的高次谐波特性及其对AFM高速扫描成像的影响程度。为了消除在扫描运动过程中的机械自激振荡,提出了将正弦波信号作为高速扫描的驱动信号,行扫速度达到50line/s。在正弦波驱动的基础上提出了一种基于位置采样的图像获取方法,有效地减小了AFM扫描器的非线性误差造成的图像畸变现象。
- 殷伯华陈代谢林云生初明璋韩立
- 关键词:原子力显微镜正弦波驱动图像畸变
- 用于应力应变和疲劳显微分析的原位拉伸系统的研制
- 2011年
- 工业上的应用和材料学的发展客观上要求对材料的力学性能测试进行实时动态观测。本研究部自主研发出了配合扫描电子显微镜的原位拉伸试验系统,成功地实现了对拉伸试验全过程的原位观测和微区分析,并初步具备了原位疲劳试验的功能。该系统使用直流伺服电机驱动机械部分对样品施加拉伸载荷,在基于PC104的嵌入式控制系统中,使用专用PID控制芯片实现电机的闭环控制,并在软件设计中对数据采集、原位保持等关键技术进行了算法优化,以实现较高的精度和稳定性。本文介绍了该系统的机械结构、软硬件组成,并展示了使用该系统对金属材料进行原位拉伸实验得到的数据和结果。该结果为材料的拉伸性能提供了很好的宏观和微观证据。
- 杨洁韩立陈代谢初明璋林云生刘俊标
- 关键词:扫描电子显微镜
- 基于DSP-FPGA高速控制系统的应用研究
- 2014年
- 为了满足应用对控制系统高速高精度的要求,本文将原子力显微镜作为控制对象,主要研究基于DSP—FPGA控制系统设计中的关键技术问题。包括各模块的功能划分、模块间通讯模式设计并以单行扫描为例进行编程说明。随后将PID算法嵌入FPGA,对大范围快速原子力显微镜的单点测试做闭环反馈控制。实验结果显示,与以PCI04为核心的控制系统相比,基于DSP—FPGA的控制系统大大提高了大范围快速原子力显微镜的扫描速度和控制精度。
- 邓卫梅陈代谢殷伯华薛虹韩立
- 柔性铰链位移台耦合振动主动补偿系统
- 一种柔性铰链位移台耦合振动位移主动补偿系统,其耦合振动控制器(1)分析柔性铰链位移台Y和Z方向的耦合振动幅值,发出抑制Y方向和Z方向振动的指令。Y耦合振动检测装置(2)和Z耦合振动检测装置(3)检测在Y和Z方向产生的耦合...
- 殷伯华韩立陈代谢林云生
- 文献传递