张巧真
- 作品数：5 被引量：0H指数：0
- 供职机构：电子科技大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术电气工程电子电信更多>>
- 高介微波介质薄膜研究
- 高介微波介质薄膜具有高的介电常数、低的介电损耗、高的耐压、低的漏电流、稳定的容值等特点，可用于MMIC（单片微波集成电路）电路中的微波/射频电容来替代外接的大电容旁路/退耦电容，以实现微波集成电路的全单片集成。本文使用射...
- 张巧真
- 关键词：工艺参数退火温度介电性能
- 文献传递
- 用于刻蚀微波介质薄膜的刻蚀液及制备方法
- 用于刻蚀微波介质薄膜的刻蚀液及制备方法，涉及微电子技术领域。本发明的刻蚀液以质量比计算，其组分为：HBF<Sub>4</Sub>∶HNO<Sub>3</Sub>∶H<Sub>2</Sub>O＝1∶x∶5，其中0.5≤x≤...
- 杨传仁张巧真张继华陈宏伟赵强
- BaO-Nd_2O_3-Sm_2O_3-TiO_2薄膜的微波特性
- 2013年
- 在制作完底电极的LaAlO3(100)衬底上,利用磁控溅射法制备了一层BaO-Nd2O3-Sm2O3-TiO2(BNST)系薄膜,再对薄膜进行退火处理。X线衍射仪(XRD)分析表明,经退火处理的BNST薄膜结晶效果良好。采用薄膜电容结构来实现电容的测量,主要研究了BNST薄膜电容的频率特性。阻抗分析测试和矢量网络分析测试表明,在测试频率为1MHz时,介电常数为58.3,介电损耗小于2%;在1GHz的测试频率下,介电常数为57.5,介电损耗小于3%。研究表明,制备的BNST薄膜的频率特性稳定,基本满足微波频率下使用的要求。
- 张洪波王文君秦超张巧真张继华
- 关键词：射频磁控溅射
- 退火温度对BNST薄膜结构和性能的影响
- 2012年
- 采用射频磁控溅射法在Pt/Ti/LaAlO3(100)衬底上制备了BaO-Nd2O3-Sm2O3-TiO2系(BNST)薄膜。研究了退火温度对BNST薄膜结构、表面形貌和介电性能的影响。X线衍射仪(XRD)分析表明,随着退火温度的升高,晶粒逐渐长大。经850℃退火处理的BNST薄膜具有很好的结晶质量。原子力显微镜(AFM)分析表明,在一定范围内提高退火温度所制备的薄膜晶粒致密、大小均匀。LCR测试分析表明,在测试频率为100kHz时,随着退火温度的升高,BNST薄膜介电常数有所增加,介电损耗则先降低,后增加。实验表明,经850℃退火处理,所制备的BNST薄膜的介电常数达37,介电损耗小于1.2‰。
- 张巧真张继华杨传仁陈宏伟赵强
- 关键词：射频磁控溅射退火温度
- 用于刻蚀微波介质薄膜的刻蚀液及制备方法
- 用于刻蚀微波介质薄膜的刻蚀液及制备方法，涉及微电子技术领域。本发明的刻蚀液以质量比计算，其组分为：HBF<Sub>4</Sub>∶HNO<Sub>3</Sub>∶H<Sub>2</Sub>O＝1∶x∶5，其中0.5≤x≤...
- 杨传仁张巧真张继华陈宏伟赵强
- 文献传递
