李晓刚
- 作品数：3 被引量：7H指数：2
- 供职机构：北京工业大学激光工程研究院更多>>
- 发文基金：北京市教委重点项目北京市教委重点学科建设项目更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- CO_2激光刻蚀PMMA制备微流道的研究被引量：4
- 2011年
- 介绍了采用CO2激光器对聚甲基丙烯酸甲脂(PMMA)板进行刻蚀制备微流道的工艺实验。通过实验分析工艺参数对微流道深度和宽度的影响及其中变化规律。结果表明,激光线能量密度与刻蚀微流道宽度两者关系呈指数增长,得到了线能量密度和微流道宽度的数学拟合公式,曲线和数据点拟合决定系数R2=0.96。当线能量密度小于300 J/m时,微流道深度与线能量密度呈近似线性关系;当线能量密度大于300 J/m时,偏离线性关系。通过理论计算得到在低线能量密度下微流道深度的变化曲线图,并与实际测量值吻合较好。最后,通过优化工艺参数,制备出微流道宽度为170μm,深度为180μm的生物芯片。
- 李晓宇陈继民刘富荣李晓刚张强
- 关键词：激光刻蚀CO2激光
- 玻璃基板激光选区镀膜研究被引量：1
- 2011年
- 针对传统制备导电薄膜工艺复杂、成本高,且在激光直写导电膜中存在所加入的辅料造成杂质污染以及膜的厚度和粗糙度难以降低等问题,本文采用玻璃衬底激光制备Zn/Al混合粉末生成导电薄膜,实现了无粘结剂和辅料的薄膜生成,研究了工艺参数调节对膜的生成质量的影响。结果表明,过低或过高的激光扫描速度都会使表面粗糙度增加,扫描速度过慢时薄膜表面被严重破坏,过快时导致附着不完全区域的出现;薄膜厚度随扫描速度变化,在表面附着的颗粒随扫描速度降低发生融合现象,膜厚将增大。优化参数后得到了粗糙度低于20nm、膜厚低于500nm的导电薄膜。
- 李晓刚陈继民刘富荣李晓宇张强
- 关键词：激光加工导电薄膜金属粉末
- 脉冲光纤激光直写金属薄膜电阻实验研究被引量：2
- 2010年
- 目前激光直写膜电阻时,所加入的辅料容易造成杂质污染,膜的厚度和粗糙度难以降低。为减少杂质污染,降低膜厚和表面粗糙度,改善激光直写微电路性能,进行了透射式激光直写金属薄膜电阻的实验研究,分析了薄膜线宽与激光光斑能量分布特点的关系,获得了线宽低于光斑直径的导电薄膜。实验表明,扫描速度的增加或离焦量的降低会导致光斑重叠率和导线宽度减小。同时,过高的功率会使薄膜受到烧蚀破坏,功率过低则难以将靶材充分熔化附着在玻璃基板上。相比之下,锌膜颗粒尺寸较为均匀,而Al/Zn混合膜的颗粒尺寸不一致。
- 李晓刚陈继民刘富荣
- 关键词：激光技术激光直写金属粉末
