王伟
- 作品数：4 被引量：3H指数：1
- 供职机构：浙江工业大学机械工程学院特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室更多>>
- 发文基金：浙江省重中之重学科开放基金浙江省自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 电容式硅微机械麦克风的结构与动态特性被引量：1
- 2009年
- 为了设计和制造适合工业化生产的微机械麦克风，给出了一种单芯片硅微机械电容式麦克风的结构和动态特性分析．微机械电容式麦克风的两个电极由一个3层复合敏感膜和一个铜底板构成，敏感膜与底板之间采用牺牲层技术形成空气间隙．复合敏感膜采用低压化学气相淀积工艺制作，包含一层浓硼掺杂的多晶硅和两层氮化硅．底板采用电镀铜技术制作，底板上蜂窝状分布了许多圆形通气孔来调节敏感膜与底板间的空气压膜阻尼至临界阻尼．分析和计算表明，麦克风在9V偏置电压下开环灵敏度为4．99mV／Pa，工作最大稳定电压为32．83V，工作频率带宽为0-134kHz．
- 董健计时鸣王伟
- 关键词：动态特性
- 悬臂梁膜硅微机械电容式麦克风的设计与仿真
- 硅微机械电容式麦克风应用广泛,从普通的消费产品到专业的音频系统,它具有体积小、成本低、高精度、可靠性高和批量制造等优点。微机械电容式麦克风工作时希望敏感膜具有较低的刚度,底板则希望有较高的刚度,以此来保证麦克风的开环灵敏...
- 王伟
- 关键词：多目标遗传算法灵敏度等效电路
- 文献传递网络资源链接
- 基于多目标遗传算法的硅微机械电容式麦克风优化设计
- 2011年
- 介绍了一种基于多目标遗传算法的硅微机械电容式麦克风优化设计方法。以复合敏感膜参数、底板参数以及敏感膜与底板间距为设计变量,麦克风灵敏度、最大工作电压、工作频率带宽为优化设计目标,采用多目标遗传算法求出Pareto最优解集。在所求出的Pareto最优解集中选择一组最符合设计要求的解作为麦克风的设计参数。
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- 关键词：多目标优化遗传算法PARETO最优解集
- 具有自由悬浮敏感膜的硅微机械电容式麦克风的设计与仿真计算被引量：2
- 2009年
- 提出了一种具有自由悬浮敏感膜和带孔铜底板的硅微机械电容式麦克风。采用低压化学汽相淀积工艺制作而成的复合敏感膜一端固定于硅基,其余部分处于自由悬浮状态,可以释放敏感膜的内应力。底板采用铜电镀技术制作,底板上呈蜂窝状分布的圆形通气孔用来调节敏感膜与底板间的空气压膜阻尼。仿真计算表明在5V偏置电压下麦克风灵敏度为10.62mV/Pa,工作稳定最大电压为9.7V,工作频率带宽为0～10.57kHz。分析结果表明该微机械麦克风能满足市场需求。
- 王伟董健计时鸣
- 关键词：灵敏度频率带宽
