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秦健
作品数:
14
被引量:9
H指数:1
供职机构:
清华大学
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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医药卫生
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合作作者
刘泽文
清华大学信息科学技术学院微电子...
国石磊
清华大学
司卫华
清华大学
王子千
清华大学
张晓
湖南大学
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作者
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秦健
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刘泽文
5篇
国石磊
3篇
司卫华
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尹明
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许先进
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张家振
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应花胡
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何仁生
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张晓
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王子千
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2012
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2011
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2010
3篇
2009
2篇
2008
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一种纳米制造系统
一种纳米制造系统,包括原子粒子产生系统,原子粒子产生系统与气源连通,原子粒子产生系统与原子输运系统相连,原子输运系统与真空工作室相连,真空工作室内设置有纳米孔阵列掩模板,纳米孔阵列掩模板边缘上方为光学对准系统,下方为纳米...
刘泽文
尹明
司卫华
秦健
一种用于生物医学电化学检测的三维微电极及其制作方法
本发明提出一种用于生物医学电化学检测的三维微电极结构及其制作方法。利用微加工技术,在衬底表面制作牺牲层和具有一定内应力的双层金属结构,通过去除牺牲层,将制作于衬底表面的微电极金属释放,使其通过本身的内应力作用产生背离衬底...
刘泽文
秦健
国石磊
文献传递
一种用于生物医学流体的微型可逆密封结构和制作方法
公开了一种用于生物医学微流体的微型可逆密封结构,包括:第一衬底,在该第一衬底上设置有图案化的PDMS密封层;第二衬底,在该第二衬底上设置有流体控制和处理功能器件;并且所述第二衬底上设置的流体控制和处理功能器件通过所述PD...
刘泽文
秦健
王子千
文献传递
一种定量聚合酶链式反应检测装置及其制备方法
本发明涉及一种定量聚合酶链式反应测量装置,该装置中用于提供PCR反应所需温度的加热单元、用于加载及分配生物样品溶液使其与生物样本DNA发生PCR反应的微流体单元、用于采集DNA扩增产量的电信号的测量单元被集成为三个模块,...
刘泽文
国石磊
秦健
文献传递
自旋电子器件输运过程的研究
秦健
关键词:
自旋电子学
GREEN函数
一种定量聚合酶链式反应检测装置及其制备方法
本发明涉及一种定量聚合酶链式反应测量装置,该装置中用于提供PCR反应所需温度的加热单元、用于加载及分配生物样品溶液使其与生物样本DAN发生PCR反应的微流体单元、用于采集DAN扩增产量的电信号的测量单元被集成为三个模块,...
刘泽文
国石磊
秦健
文献传递
一种用于生物医学流体的微型可逆密封结构和制作方法
公开了一种用于生物医学微流体的微型可逆密封结构,包括:第一衬底,在该第一衬底上设置有图案化的PDMS密封层;第二衬底,在该第二衬底上设置有流体控制和处理功能器件;并且所述第二衬底上设置的流体控制和处理功能器件通过所述PD...
刘泽文
秦健
王子千
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水平调节装置
图2包含1)WQ90(2)型双轴倾角传感器,5)HB202M型混合型步进电动机细分驱动器,6)载物台,7)调节螺钉,8)57BYG型步进电动机。从图中知,倾角传感器是附在载物台下,且两者彼此牢固地粘合在一起。以下简要说明...
何仁生
张家振
张晓
应花胡
许先进
秦健
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丙烯酸酯干膜光刻胶曝光特性及其应用
被引量:8
2011年
对一种新型的丙烯酸酯干膜光刻胶(DFP)的曝光及显影特性进行了研究,采用该干胶制作出微沟道结构,进行微流道实验研究。在4英寸(1英寸=2.54cm)硅片上实现了厚度为50μm的干胶完好贴敷,从而解决了干胶在硅衬底上的贴敷问题。利用改变曝光时间设定曝光剂量梯度的方法,研究了干胶的曝光特性。采用不同质量分数的显影液,研究干胶的显影特性,获得了优化的结果。采用干胶系统进行了微流体沟道制作,得到了侧壁陡直的微沟道结构。实验发现,65mJ/cm2及以上的曝光剂量可使厚度为50μm的干膜光刻胶充分曝光并获得形貌效果良好的微结构,质量分数为5%的显影液具有最快的显影速度。
秦健
刘泽文
钟艳
王太宏
关键词:
显影
一种纳米制造系统
一种纳米制造系统,包括原子粒子产生系统,原子粒子产生系统与气源连通,原子粒子产生系统与原子输运系统相连,原子输运系统与真空工作室相连,真空工作室内设置有纳米孔阵列掩模板,纳米孔阵列掩模板边缘上方为光学对准系统,下方为纳米...
刘泽文
尹明
司卫华
秦健
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