赵文川
- 作品数：56 被引量：110H指数：7
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金四川省科技支撑计划中国科学院西部之光基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程理学电子电信更多>>
- 一种快速鲁棒的光学表面划痕高精度检测方法被引量：7
- 2016年
- 为了提高光学零件表面划痕定位测量和宽度测量的精度,采用基于离散正交多项式曲面拟合的亚像素边缘检测与宽度测量的算法,通过对边缘点及其邻域进行曲面拟合代替了只对边缘点梯度方向进行曲线拟合,实现了亚像素边缘检测;采取感兴趣区域加速策略与基于离散正交多项式曲面方程参量快速求解方法串联进行的加速方案,大大减少处理时间;在宽度计算方面,根据划痕长度自适应分段,分别计算每段分段点之间欧氏距离并作为其宽度,比较后取最大宽度作为划痕宽度。结果表明,该算法测量精度较高且具有较强的鲁棒性,同一划痕在不同视窗下测得宽度误差均值不超过5.2%,且标准差不超过0.3;在求解曲面模型参量的时间方面,该方法计算时间约为最小二方法的7.35%,处理效率显著提高。该方法能够满足工程应用中快速、高精度的测量要求。
- 陈少杰李柏林赵文川熊鹰刘甲甲
- 关键词：曲面拟合
- 离轴非球面的条纹反射检测技术被引量：6
- 2018年
- 条纹反射测量技术具有动态范围大、灵敏度高的特点,通过高精度的系统标定可以获得很高的测量精度。本文研究将条纹反射测量技术应用于离轴非球面反射镜粗抛光阶段的面形检测,使用激光跟踪仪建立检测系统坐标系,然后将相机和显示屏的实测标定数据代入坐标系并在Zemax软件中建立测量装置的理想模型,通过光线追迹得到理想的屏幕像素点位置,采用相移技术可以得到实测时屏幕像素点位置,从而计算得到被测镜面形的斜率误差,最后积分得到检测结果。文中采用该方法对一块SiC离轴非球面镜进行了实测,并与三坐标测量机的结果进行对比,验证了方法的可行性,可用于指导离轴非球面镜粗抛光阶段的加工。
- 赵文川周敏刘海涛肖向海宋伟红
- 关键词：离轴非球面光线追迹
- 基于相位测量偏折术的非球面法线向量测量被引量：8
- 2011年
- 非球面可以由其法线汇来表征,即可以由法线距和法线角的关系来描述。提出了一种基于相位测量偏折术(PMD)的非球面反射镜法线向量检测方法。在PMD测量系统中,将待测镜沿光轴方向作相对移动。在移动过程中,由CCD相机扫描待测镜,观察并记录下随待测镜移动而发生变化的条纹图,通过相位分布计算得到非球面法线距和法线角的关系,即非球面的法线汇,再由法线汇计算得到非球面面形直角坐标分布。在该方法中,可以用法线汇来描述非球面的面形,同时也可以通过几何计算转换到直角坐标系进行评价。
- 赵文川范斌伍凡苏显渝陈文静
- 关键词：光学测量条纹分析
- 基于PMD的反射镜面检测实验分析被引量：13
- 2013年
- 将相位测量偏折术应用于非球面反射镜面形检测,并对实验检测结果的中高频误差进行了分析研究。计算机产生正弦性条纹图,并且显示在薄膜场效应晶体管显示屏上。摄像机通过被测反射镜观察并拍摄显示屏上的条纹图。利用相移技术和相位展开技术计算得到相位分布。以相位信息为载体对光线进行追迹,并根据反射定律得到面形梯度分布,由数值积分重建面形分布。最后使用泽尼克多项式拟合分析了其中高频误差。
- 赵文川范斌伍凡苏显渝陈文静
- 关键词：面形测量非球面镜条纹分析
- 基于条纹反射的光学表面疵病检测法被引量：11
- 2014年
- 提出一种基于条纹反射的光学表面疵病检测方法,检测系统由液晶显示屏、CCD相机和计算机组成.检测时在显示屏上分别显示水平和垂直两个方向正交的正弦性条纹,用CCD相机记录经被测表面反射的正弦条纹像,通过相移技术得到两个方向正交的相位分布和对比度分布,通过对比度分布确定被测表面的疵病位置.被测面表面面形相关信息包含在相位分布中,其表面疵病细节信息包含在局部微观相位分布之中.对相位分布进行多项式拟合后相减得到疵病引起的微观相位分布,计算得到表面疵病的梯度分布,积分得其高度分布.实验验证了该方法的可行性.
- 赵文川钟显云刘彬
- 关键词：光学检测
- 亚纳米超高精度光学面形干涉测量技术及应用
- 2024年
- 超高精度干涉检测技术是大规模集成电路制造、同步辐射、引力波探测等领域的核心技术之一,也是天文、成像等诸多领域的关键技术之一。鉴于该项技术的重要性,国外对亚纳米或更高精度干涉仪采取了严格的限制措施,我国只能引进其二流的设备。只有立足于自主创新,突破超高精度检测的核心技术,才能满足我国对高精度检测的需求。
- 吴永前刘锋伟陈强陈小君徐燕赵文川闫锋涛
- 关键词：大规模集成电路干涉仪
- 精密光学元件表面疵病检测技术研究被引量：3
- 2017年
- 依据光学元件表面疵病存在的对比度低、边界模糊等特性,以及现有的自动化检测算法,提出了一种基于机器视觉的数字化评价系统,解决了疵病图像获取中的相机定位、图像采集、疵病检测、图像拼接以及疵病统计等自动检测技术问题。实验结果表明:系统实现了精密光学元件表面疵病的自动化检测,能够有效分辨微米(μm)量级的疵病,具有良好的疵病识别性能。
- 江晓亮江晓亮邓小雷李柏林李柏林
- 关键词：光学元件图像处理特征提取图像拼接
- 一种精密光学元件表面缺陷复合检测装置及方法
- 本发明涉及一种精密光学元件表面缺陷复合检测装置及方法，装置包括第一白光光源和第二白光光源、结构光光源、照明镜头、半透半反镜、显微物镜、待测光学元件、样品放置平台、成像镜头和彩色相机；方法包括步骤：1)使用白光光源和彩色相...
- 侯溪马梦聪李明泽赵文川胡小川
- 一种基于条纹反射的离轴非球面镜检测方法
- 一种基于条纹反射的离轴非球面镜检测方法，测量系统由被测镜、显示屏和CCD摄像机组成。首先以离轴非球面镜中心建立世界坐标系，并得到世界坐标系、显示屏坐标系及摄像机坐标系之间的关系。测量时，在显示屏上正(余)弦周期性条纹图样...
- 赵文川范斌万勇建伍凡
- 文献传递
- 一种气氛保护高气密性高精度光学镜筒
- 本发明公开了一种气氛保护高气密性高精度光学镜筒，包括：镜一框压圈、镜一框、镜一框注胶槽、镜一压圈、镜一、镜一密封圈、镜筒、镜二、镜二框、镜二框透气孔、调心顶丝、镜二压圈、镜二调心圈、镜二框压圈、镜二框压圈透气孔、连接螺钉...
- 翟嘉谭大川赵文川张灿
- 文献传递
