赵晋敏
- 作品数：2 被引量：6H指数：1
- 供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 谐振式微机械压力传感器检测电路研究
- 谐振式微机械压力传感器是通过检测其机械谐振器谐振频率的变化来实现压力测量,特点是尺寸小,精度高,稳定性好,易与数字电路接口,具有广阔的应用前景。精确测量是微机械压力传感器研究的目标,检测电路的性能优劣直接影响整体器件测量...
- 赵晋敏
- 关键词：检测电路同频干扰温度补偿
- 文献传递
- 扩散硅谐振式压力传感器同频干扰的建模与消除被引量：5
- 2009年
- 为简化谐振式微机械压力传感器的制备工艺,提出了一种采用扩散硅作为谐振梁的压力传感器,并采用电磁激励实现传感器的闭环控制。实验中发现:由于采用扩散硅材料,传感器受到较为严重的同频干扰影响,因此,消除传感器的同频干扰成为需要解决的一个主要问题。通过对采用扩散硅作为谐振梁的压力传感器微结构进行分析,建立了传感器主要噪声来源同频干扰的等效电路模型,据此提出一种新的不对称双端激励解决方法。实验结果表明,该方法可有效地降低传感器的同频干扰,传感器的信噪比由1.53提高至35,为传感器闭环激励和检测提供了有效的手段。
- 赵晋敏李守荣王军波陈德勇刘磊史晓晶
- 关键词：扩散硅同频干扰
