周镇威
- 作品数:11 被引量:17H指数:3
- 供职机构:上海交通大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域:电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>
- 多通道碳纳米管传感器制备方法
- 一种微电子技术领域的多通道碳纳米管传感器及其制备方法,包括:基片、金属下电极、碳纳米管和金属上电极,其中:基片位于整体结构的最底端,金属下电极位于基片之上,若干根碳纳米管呈垂直分布形成阵列且两端分别与金属下电极和金属上电...
- 丁桂甫陆闻静王艳邓敏周镇威
- 文献传递
- 带有凸条平板的MEMS结构压膜阻尼效应分析被引量:3
- 2010年
- 针对带有凸条平板的MEMS结构压膜阻尼效应,利用基本Reynolds方程和特定的第一类边界条件,给出一种压膜阻尼系数的解析分析方法。在带有凸条平板的MEMS微开关设计与制作的基础上,利用引入该压膜阻尼系数的Simulink模型仿真分析了微开关的动态响应特性,得到的阈值加速度与其落锤测试结果是一致的,从而验证了所提出的带有凸条平板压膜阻尼效应理论分析的正确性。
- 周镇威杨卓青蔡豪刚丁桂甫
- 关键词:微机电系统解析解
- MEMS可动电极式火花隙开关
- 一种微机电系统技术领域的MEMS可动电极式火花隙开关,包括:可动电极、固定电极、微驱动结构和绝缘衬底,其中:可动电极和固定电极均与绝缘衬底固定连接,微驱动结构与绝缘衬底、可动电极或者分别与绝缘衬底和可动电极固定连接,固定...
- 丁桂甫沈慧杨卓青周镇威
- 常闭式微机械惯性电学开关
- 本发明公开了一种微机电工程技术领域的常闭式微机械惯性电学开关,包括:绝缘衬底、连体蛇形弹簧、支撑层、固定接触电极、弹簧支撑座、质量块电极以及弹簧间连体,其中:固定接触电极和支撑层都位于绝缘衬底上;质量块电极位于固定接触电...
- 杨卓青周镇威丁桂甫
- 文献传递
- 通过可动触点延长接触时间的新型微冲击开关被引量:5
- 2009年
- 基于非硅表面微加工技术,设计并制造了一种用于振动监测的新型微机电系统(MEMS)冲击开关。开关主要由三部分构成:作为可动电极的质量块,作为固定电极的十字梁,和位于质量块中心的具有延时作用的可动触点。通过ANSYS有限元仿真,对器件进行模态分析,考察了器件的横向抗干扰能力;并提取了器件的物理参数(如弹簧弹性系数和系统有效质量),以用于Simulink动态仿真。通过动态仿真验证了器件的工作原理,并与传统微冲击开关进行了比较。使用落锤试验对所制造出的微冲击开关进行测试,加载脉宽1ms的半正弦冲击加速度,测得其阈值约为145g,并且接触时间可稳定在50μs以上。测试结果与仿真符合较好,证明了新型设计可以有效地增强接触效果,所建模型可以较准确地描述器件的动态响应。
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- 关键词:微机电系统
- 碳纳米管修饰电极的制备及其电化学敏感性研究被引量:3
- 2011年
- 介绍了一种碳纳米管修饰电极的制备工艺,并对其电化学敏感性进行测试和分析。该工艺辅助聚合物聚酰亚胺,利用机械球磨、可控刻蚀等工艺,实现了碳纳米管的均一分布,露出碳纳米管的断口和缺陷。在玻碳电极上涂覆碳纳米管/聚酰亚胺复合膜,结合扫描电子显微镜观察,得到了可控、均一、稳定的电极界面。利用循环伏安法对电极进行性能测试,讨论了工艺对性能的影响,结果表明:该电极对溶液中的微量物质敏感,并且对电化学反应有催化和促进作用。
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- 关键词:碳纳米管修饰电极循环伏安法
- MEMS可动电极式火花隙开关
- 一种微机电系统技术领域的MEMS可动电极式火花隙开关,包括:可动电极、固定电极、微驱动结构和绝缘衬底,其中:可动电极和固定电极均与绝缘衬底固定连接,微驱动结构与绝缘衬底、可动电极或者分别与绝缘衬底和可动电极固定连接,固定...
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- 文献传递
- 微型平面式气体火花隙开关
- 一种微机电工程技术领域的微型平面式气体火花隙开关,包括:绝缘衬底、正电极、第一负电极、第二负电极、触发电极、正电极连接单元、负电极连接单元和触发电极连接单元,其中:触发电极位于第一负电极和第二负电极中间或者是位于正电极与...
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- 文献传递
- 微型平面式气体火花开关的设计和制作被引量:6
- 2012年
- 基于表面微加工技术,设计并制作了一种微型平面式气体火花开关,其尺寸仅为1.5cm×0.5cm,对制作的微型火花开关进行电路测试,得到其输出电流峰值约为3 450A,上升时间164ns。结合实验结果,对开关器件进行电路系统仿真并提取参数,得到系统电感为26.5nH,电阻为0.066Ω,与传统机械结构的立体式火花开关相比,器件参数得到显著优化。
- 周镇威杨卓青丁桂甫陆闻静沈慧
- 关键词:火花隙开关脉冲功率
- 多通道碳纳米管传感器及其制备方法
- 一种微电子技术领域的多通道碳纳米管传感器及其制备方法,包括:基片、金属下电极、碳纳米管和金属上电极,其中:基片位于整体结构的最底端,金属下电极位于基片之上,若干根碳纳米管呈垂直分布形成阵列且两端分别与金属下电极和金属上电...
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