李岩
- 作品数:3 被引量:1H指数:1
- 供职机构:北京控制工程研究所更多>>
- 发文基金:中央高校基本科研业务费专项资金中国博士后科学基金国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域:电子电信航空宇航科学技术金属学及工艺更多>>
- Ti/Au电极对红外探测器噪声系数的影响研究被引量:1
- 2013年
- Mn-Co-Ni-O系半导体陶瓷是最常见的红外热敏电阻材料,但其与传统的Au电极结合强度不高。本文将Ti/Au双层电极用于半导体陶瓷晶片,研究了Ti/Au电极对界面结合强度和热敏电阻噪声系数的影响规律。研究发现,Ti/Au电极能与半导体陶瓷保持良好的界面结合强度,同时使热敏电阻具有较低的噪声系数;Ti/Au电极影响热敏电阻噪声系数的机理是由于Ti扩散到Au表面形成钛氧化物引起的;在对Ti/Au电极的热处理过程中,Ti与陶瓷晶片基体间发生界面反应,同时Ti元素会向Au薄膜表面扩散;提高Ti/Au热处理温度或增加Au薄膜厚度、减少Ti镀膜厚度均能抑制Ti原子向Au薄膜表面扩散,从而降低热敏电阻的噪声系数。
- 李岩常玲玲李慧吴茂
- 关键词:热敏电阻噪声系数TIAU电极扩散
- 红外探测器晶片电极设计与应力分析
- 2013年
- 红外探测器是卫星姿态控制中不可或缺的一种探测器.总结了国外近年来红外热敏探测器晶片电极的研究进展,重点介绍了热敏电阻晶片电极的设计思路及其制备工艺.分析了薄膜金属电极给热敏电阻晶片组件带来的各类应力.提出在热敏电阻晶片电极设计时,应选择合适的电极结构、电极材料、膜层厚度、金属薄膜的制备工艺、热处理制度等工艺参数,并确保热敏电阻晶片焊点的应力较低,才能保证红外探测器的性能及其可靠性.实验结果表明,采用Ti/Au双层结构电极的热敏电阻可达到理想的噪声系数和良好的界面结合力.
- 李岩李慧常玲玲吴茂
- 关键词:红外探测器热敏电阻内应力
- Mn-Co-Ni红外探测器As-Se光学薄膜制备及性能研究
- 2014年
- 采用真空热蒸发方法,在Ge基底上沉积As-Se光学薄膜(下述简称薄膜),考察薄膜中As含量对于薄膜软化点、14~16μm红外波段折射率及透射率的影响。通过XRF分析薄膜组成,并通过DTA 及维卡法分析薄膜软化点,利用PE Spectrum100型红外光谱议,分析薄膜在14~16μm波段的透射率,利用红外干涉仪分析折射率。结果表明,As-Se薄膜制备过程中的元素损失较小,薄膜软化点随薄膜As含量不断升高,薄膜在14和16μm波段的折射率随As含量增大而增加,透射率随As含量增大而减小,中心波段透射率超过55%。
- 杨宇李岩张弓马莒生
- 关键词:红外探测器