王磊杰
- 作品数：86 被引量：57H指数：5
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金中国博士后科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信理学自动化与计算机技术更多>>
- 超精密外差利特罗式光栅干涉仪位移测量系统被引量：17
- 2017年
- 开展了扫描干涉光刻机工作台超精密位移测量的实验研究,以提高扫描干涉光刻机的环境鲁棒性。针对扫描干涉光刻机工作台位移测量精度,提出了新型高环境鲁棒性外差利特罗式光栅干涉仪测量系统。介绍了系统测量原理,设计了测量系统,提出了基于Elden公式的系统死程误差建模方法。设计制造了尺寸仅为48mm×48mm×18mm的光栅干涉仪。基于误差模型计算了死程误差,计算结果表明:对于1.52mm死程的光栅干涉仪,宽松的环境波动指标(温度波动为0.01℃、压力梯度为±7.5Pa、相对湿度波动为1.5%、CO2含量波动为±50×10-6)仅引起±0.05nm的死程误差。最后,设计了基于商用双频激光平面镜干涉仪的测量比对系统,开展了光栅干涉仪原理验证实验和测并量稳定性实验。原理验证实验表明:光栅干涉仪原理正确且系统分辨率达0.41nm。测量稳定性实验表明:常规实验室环境下,环境波动引起的死程误差为7.59nm(3σ)@<0.9Hz&1~10Hz,优于同等环境条件下平面镜干涉仪的31.11nm(3σ)@<0.9Hz&1~10Hz。实验结果显示系统具有很高的环境鲁棒性。
- 王磊杰张鸣朱煜鲁森杨开明
- 关键词：光栅干涉仪外差干涉仪
- 一种电动式磁悬浮双框架动量球装置
- 本发明公开了一种电动式磁悬浮双框架动量球装置，用于航天器姿态控制系统执行机构。由电动式磁悬浮驱动电机模块、内调节框架、外调节框架及端部支承锁紧机构组成，电动式磁悬浮驱动电机模块通过轴和支承锁紧机构与内调节框架连接，内调节...
- 朱煜张鸣怀周玉陈安林杨开明成荣李鑫王磊杰
- 文献传递
- 一种具有图形锁定功能的激光干涉光刻系统
- 一种具有图形锁定功能的激光干涉光刻系统，包括激光器、反射镜、分束器、基底台、基底和图形锁定装置；激光器出射的激光经分光镜分为曝光光束和参考光束，曝光光束经分束器后利用反射镜折光在基底台承载的基底上实现干涉，干涉图形通过曝...
- 张鸣朱煜王磊杰刘召杨开明胡金春尹文生穆海华胡楚雄徐登峰成荣
- 文献传递
- 一种利用激光干涉仪测量硅片台多自由度位移的装置
- 一种利用激光干涉仪测量硅片台多自由度位移的装置，该测量装置包括：激光器、平面镜干涉仪、接收器、读数单元、偏振装置、平面反射镜以及安装于硅片台上的反射透射棱镜，反射透射棱镜具有偏振镜面和反射镜面。平面镜干涉仪沿水平方向至少...
- 张鸣朱煜王磊杰刘昊刘召杨开明徐登峰胡金春尹文生
- 文献传递
- 干涉条纹相位锁定系统被引量：3
- 2017年
- 干涉曝光系统中干涉条纹的相位漂移会导致曝光对比度降低,为了有效抑制相位漂移,利用声光调制器对干涉光频率进行实时调制。分析了条纹漂移的特点,指出了主要干扰源是0~5 Hz的空气扰动。应用数值分析法得到了条纹漂移量与曝光对比度的关系曲线,并以此为依据提出了条纹锁定精度的目标值。针对所要达到的锁定精度,给出了系统硬件的选型方法,搭建了基于RTX的干涉条纹相位锁定系统。利用闭环辨识的方法得到了系统的参数模型,完成了反馈控制器的设计,最终实现了实时锁定条纹相位的功能。实验结果表明,在400Hz的控制频率下,干涉锁定系统能够有效抑制0~5Hz的低频扰动,干涉条纹相位漂移的3σ值可以控制在±0.04个条纹周期内,满足干涉光刻的曝光对比度要求。
- 鲁森杨开明朱煜王磊杰张鸣
- 关键词：相位锁定声光调制器RTX
- 基于超导磁悬浮的光刻机工件台平衡定位系统
- 本发明公开了一种基于超导磁悬浮的光刻机工件台平衡定位系统，包括平衡质量块、承片台模块、超导磁悬浮模块、漂移管理模块和机架，超导磁悬浮模块包括超导体和超导体磁钢阵列；漂移管理模块包括漂移管理线圈和漂移管理磁钢阵列；承片台模...
- 张鸣朱煜赵家琦成荣王磊杰
- 一种五自由度外差光栅干涉测量系统
- 本发明为一种五自由度外差光栅干涉测量系统，包括单频激光器、声光调制器，单频激光器出射单频激光，所述单频激光经光纤耦合、分束后入射至声光调制器得到两路不同频率的线偏振光，一路作为参考光，一路作为测量光；干涉仪镜组和测量光栅...
- 朱煜张鸣王磊杰叶伟楠杨富中夏一洲李鑫
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- 光刻机掩模台六自由度位移测量系统
- 本发明公开一种光刻机掩模台六自由度位移测量系统，包括：光栅安装板，固定在光刻机的掩模台上，第一平面光栅和第二平面光栅，相对固定在光栅安装板的两侧，第一平面光栅包括相互垂直的栅线，且栅线方向是在掩模台的平移平面的x轴和y轴...
- 王磊杰朱煜郭子文张鸣叶伟楠成荣
- 平面光栅标定系统
- 本发明属于光学计量技术领域，公开了一种平面光栅标定系统，该系统包括光学子系统、机架、第一隔振器、真空吸盘、工件台、第二隔振器和基底；所述光学子系统安装在机架上，机架采用第一隔振器隔振；真空吸盘可转动地安装在工件台上，工件...
- 王磊杰张鸣朱煜郝建坤李鑫成荣杨开明胡金春
- 文献传递
- 纳米运动精度光刻机超精密双工件台技术与应用
- 朱煜张鸣杨开明胡金春成荣李鑫胡楚雄尹文生徐登峰穆海华王磊杰张利胡海张永刚李晓通
- 集成电路产业是信息技术产业的核心，是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业。中国集成电路产业发展严重受制于集成电路制造装备，尤其是技术难度最高、最核心的装备-光刻机。工件台作为光刻机最核心的子系统，为...
- 关键词：
- 关键词：光刻机集成电路
