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彭勃

作品数：18 被引量：10H指数：1
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 16篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 4篇电子电信
  • 2篇机械工程
  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇理学

主题

  • 15篇光刻
  • 14篇像差
  • 14篇光刻机
  • 10篇波像差
  • 8篇投影物镜
  • 8篇物镜
  • 6篇主成分
  • 5篇照明
  • 4篇定心
  • 4篇光强
  • 3篇掩模
  • 2篇对称型
  • 2篇移相
  • 2篇噪声
  • 2篇噪声标准
  • 2篇照明方式
  • 2篇频谱
  • 2篇自定心
  • 2篇相移掩模
  • 2篇滤波

机构

  • 18篇中国科学院上...
  • 1篇中国科学院研...
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 18篇彭勃
  • 17篇王向朝
  • 11篇段立峰
  • 10篇闫观勇
  • 10篇徐东波
  • 8篇杨济硕
  • 5篇邱自成
  • 5篇曹宇婷
  • 4篇王渤帆
  • 4篇袁琼雁
  • 2篇步扬
  • 2篇毕群玉
  • 2篇黄炳杰
  • 1篇殷立峰

传媒

  • 1篇光学学报

年份

  • 3篇2013
  • 3篇2012
  • 9篇2011
  • 1篇2010
  • 2篇2009
共 18 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
光刻机空间像噪声评估及滤波方法
一种光刻机空间像噪声评估及滤波方法，包括下列步骤：采集测试标记的空间像；建立空间像噪声标准差和空间像理想光强；对所述的空间像噪声标准差进行主成分分析；利用最佳平滑因子对空间像进行二维样条平滑滤波，得到滤除噪声的空间像。本...
徐东波王向朝彭勃闫观勇段立峰
文献传递
基于二极照明的光刻机投影物镜奇像差的检测系统和方法
一种基于二极照明的光刻机投影物镜奇像差的检测系统和方法，本发明的特点是通过使用二极照明方式代替常规照明方式，优化了二极照明方式下作为检测标记的移相光栅的周期参数，利用该检测标记检测光刻机投影物镜的波像差，检测精度明显提高...
彭勃王向朝邱自成袁琼雁曹宇婷王渤帆
文献传递
基于二极照明的空间像传感器角度响应的测量方法
一种用于光刻机空间像的波像差检测的基于二极照明的空间像传感器角度响应的测量方法，本发明的优点在于根据空间像传感器角度响应的特点，给出了一种有效的基于二极照明的空间像传感器角度响应的测量方法，本发明通过空间像传感器角度响应...
徐东波王向朝彭勃杨济硕闫观勇段立峰
文献传递
基于空间像自适应降噪的投影物镜波像差检测方法
一种基于空间像自适应降噪的投影物镜波像差检测方法，是基于空间像主成份分析的光刻机投影物镜的波像差测量技术的优化方法。本方法通过对同一视场位置的空间像进行重复采集得到相应空间像的噪声权重，再将噪声的权重转化为主成份的权重，...
杨济硕王向朝彭勃徐东波闫观勇段立峰
基于空间像自适应降噪的投影物镜波像差检测方法
一种基于空间像自适应降噪的投影物镜波像差检测方法，是基于空间像主成份分析的光刻机投影物镜的波像差测量技术的优化方法。本方法通过对同一视场位置的空间像进行重复采集得到相应空间像的噪声权重，再将噪声的权重转化为主成份的权重，...
杨济硕王向朝彭勃徐东波闫观勇段立峰
文献传递
用于光刻投影物镜波像差检测的照明设置优化
用于低工艺因子光刻的高端光刻机对投影物镜波像差的控制有着极其严格的要求。这一需求推动了各类投影物镜波像差检测技术的迅速发展。在投影物镜进行装校之前,国际上通行的方法是使用干涉仪对投影物镜的波像差进行检测。虽然通过干涉仪可...
彭勃王向朝
文献传递
基于空间像自定心的投影物镜波像差检测方法
一种基于空间像自定心的投影物镜波像差检测方法，通过最大光强位置对仿真和实测空间像进行定心，然后对仿真空间像进行主成份分析得到主成份矩阵，再建立主成份系数与泽尼克系数之间的回归矩阵，最后利用主成份矩阵和回归矩阵求解实测空间...
杨济硕王向朝步扬彭勃殷立峰
基于空间像频谱的光刻投影物镜波像差检测方法
一种基于空间像频谱的光刻投影物镜波像差检测方法，本发明的特点在于通过频谱匹配进行空间像定心和波像差求解。本发明方法包括1)使用光刻仿真软件PROLITH计算不同泽尼克像差组合对应的仿真空间像，对每幅空间像进行傅里叶变换；...
彭勃王向朝杨济硕闫观勇徐东波
光刻机空间像噪声评估及滤波方法
一种光刻机空间像噪声评估及滤波方法，包括下列步骤：采集测试标记的空间像；建立空间像噪声标准差和空间像理想光强；对所述的空间像噪声标准差进行主成分分析；利用最佳平滑因子对空间像进行二维样条平滑滤波，得到滤除噪声的空间像。本...
徐东波王向朝彭勃闫观勇段立峰
极紫外投影光刻掩模衍射简化模型的研究被引量：10
2011年
建立一个计算极紫外投影光刻掩模衍射场的简化模型,在该简化模型中通过对入射光场进行追迹推导衍射场分布的解析表达式。简化模型中的掩模包括多层膜结构和吸收层结构两部分。多层膜结构的衍射近似为镜面反射。吸收层结构的衍射利用薄掩模修正模型进行分析,即将吸收层等效为位于某等效面上的薄掩模,引入边界点脉冲描述边界衍射效应,通过确定等效面的位置和边界点脉冲的振幅和相位,对经过吸收层的几何光波进行修正。吸收层结构的薄掩模修正模型能够用于计算斜入射角在12°范围内变化时,11nm及其以上节点的密集线条的衍射场。以计算6°角斜入射、22nm密集线条的掩模衍射场为例,该掩模简化模型与严格仿真计算结果相一致。
曹宇婷王向朝邱自成彭勃
关键词：衍射极紫外投影光刻时域有限差分算法
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