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王俊杰

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：合肥师范学院电子信息工程学院更多>>
发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金国家重大技术装备创新研制项目国家科技支撑计划更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇刻划
  • 1篇机电
  • 1篇光机电
  • 1篇光学
  • 1篇光栅
  • 1篇光栅刻划
  • 1篇光栅刻划机
  • 1篇傅里叶
  • 1篇傅里叶光学

机构

  • 1篇合肥师范学院
  • 1篇中国科学技术...
  • 1篇中国科学院长...

作者

  • 1篇齐向东
  • 1篇竺长安
  • 1篇王俊杰
  • 1篇申远

传媒

  • 1篇湖南大学学报...

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
光栅刻划机刻划系统光机电集成优化方法研究被引量：1
2014年
针对大面积衍射光栅刻划机在宏观尺度下进行微纳加工的工作特点以及纳米级刻线检测困难的问题,提出了一种光机电集成优化方法.此方法采用计算傅里叶光学和弦振动理论进行光栅刻线误差分析,结合振动实验及光学测量进行验证,最后采用智能优化方法对刻划系统进行结构参数优化.虚拟样机仿真结果表明,刻划系统的振动幅度降低了30%,验证了该集成优化方法的有效性.
申远王俊杰竺长安齐向东
关键词：光栅刻划机
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