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蒋宏民

作品数：9 被引量：8H指数：2
供职机构：上海交通大学更多>>
发文基金：高等学校科技创新工程重大项目国家自然科学基金国家重点实验室开放基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇专利
  • 3篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 7篇微针
  • 3篇子层
  • 2篇电铸
  • 2篇圆锥
  • 2篇圆锥体
  • 2篇树脂
  • 2篇倾角
  • 2篇微细
  • 2篇微细加工
  • 2篇微细加工技术
  • 2篇微型电子机械...
  • 2篇模版
  • 2篇金属铬
  • 2篇环氧
  • 2篇环氧树脂
  • 2篇机械系统
  • 1篇电极
  • 1篇电压
  • 1篇电压控制
  • 1篇医疗仪器

机构

  • 9篇上海交通大学

作者

  • 9篇蒋宏民
  • 8篇朱军
  • 8篇陈翔
  • 4篇曹莹
  • 3篇杨君
  • 2篇陈迪
  • 1篇刘景全

传媒

  • 1篇上海交通大学...
  • 1篇功能材料与器...
  • 1篇压电与声光

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2011
  • 5篇2010
  • 2篇2009
共 9 条 记 录，以下是 1-9
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排序方式：
MEMS微针制备技术及其工艺研究
微针作为一种新型MEMS器件，在生物医学领域具有广泛的应用需求。从制备工艺来划分，微针可分为异平面微针与同平面微针。异平面微针可以加工成阵列结构，因而在微针经皮给药应用时药物可以在皮肤上大面积分布，具有较强的给药能力。异...
蒋宏民
文献传递
倾斜旋转紫外曝光在微针制备上的应用被引量：2
2010年
采用倾斜旋转光刻的方法开展圆锥形异平面微针制备技术研究.通过改进实验室现有设备,以SU8光刻胶结构为模具,通过聚合物材料间的图形转移制备了PDMS异平面圆锥形实心微针的倾角为67°、高度为353μm的微针阵列.该方法具有低成本多材料适用的制备优势.
蒋宏民朱军曹莹陈翔陈迪
环氧树脂中空微针阵列的制备方法
一种微型电子机械系统技术领域的环氧树脂中空微针阵列的制备方法，采用倾斜旋转与传统光刻有机结合的方法制备SU-8三维微结构，通过调整支架的高度，获得0-90度的支架倾角，然后在水平基板上放置电机，由电机带动粘附在其上的基片...
蒋宏民朱军曹莹杨君陈翔
文献传递
异平面中空金属微针阵列的制备方法
一种适用于医疗仪器技术领域的异平面中空金属微针阵列的制备方法，通过倾斜旋转曝光与传统曝光组合运用获得带有小圆柱的光刻胶凹锥结构阵列。利用PDMS的优良图形复制能力，通过两次PDMS转模得到带有小圆柱的PDMS凹锥结构阵列...
朱军蒋宏民陈翔
文献传递
MEMS微针制备及其应用研究的进展被引量：4
2010年
微电子机械系统(MEMS)微针是目前的一个研究热点,在生物医学上有着广泛的应用。该文介绍了一些新的微针制备方法,对它们的优缺点进行了分析。另外,综述了微针应用研究的最新进展,指出了其面临的挑战和未来的发展趋势。
杨君朱军蒋宏民曹莹陈翔
关键词：微针透皮给药微电极微电子机械系统
环氧树脂中空微针阵列的制备方法
一种微型电子机械系统技术领域的环氧树脂中空微针阵列的制备方法，采用倾斜旋转与传统光刻有机结合的方法制备SU－8三维微结构，通过调整支架的高度，获得0－90度的支架倾角，然后在水平基板上放置电机，由电机带动粘附在其上的基片...
蒋宏民朱军曹莹杨君陈翔
文献传递
基于倾斜旋转基片与模版光刻制备微针阵列的方法
本发明涉及的是一种微细加工技术领域的基于倾斜旋转基片与模版光刻制备微针阵列的方法。本发明采用倾斜旋转基片与模版曝光的方法首先获得SU-8三维微结构，利用PDMS良好的图形转移能力以及脱模能力将PDMS填充到SU-8三维微...
朱军蒋宏民陈翔
文献传递
改性SU8光刻胶的光学特性及其工艺被引量：3
2009年
通过改变SU-8光刻胶中PAG浓度获得含不同PAG浓度的各种改性SU-8光刻胶,在对其光学性能以及最小曝光剂量的测定基础上研究改性SU-8光刻胶的光刻工艺,借助于改性SU-8光刻胶的合理设计以及背面曝光和正面曝光的结合应用提高多元材料复杂结构的集成制造能力。
朱军蒋宏民陈翔陈迪刘景全
关键词：PAG
基于倾斜旋转基片与模版光刻制备微针阵列的方法
本发明涉及的是一种微细加工技术领域的基于倾斜旋转基片与模版光刻制备微针阵列的方法。本发明采用倾斜旋转基片与模版曝光的方法首先获得SU－8三维微结构，利用PDMS良好的图形转移能力以及脱模能力将PDMS填充到SU－8三维微...
朱军蒋宏民陈翔
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