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邓文辉
作品数:
12
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成都精密光学工程研究中心
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国家科技重大专项
中国工程物理研究院科学技术发展基金
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相关领域:
机械工程
理学
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合作作者
陈贤华
成都精密光学工程研究中心
唐才学
成都精密光学工程研究中心
袁志刚
成都精密光学工程研究中心
徐曦
成都精密光学工程研究中心
王健
成都精密光学工程研究中心
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机构
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成都精密光学...
作者
12篇
陈贤华
12篇
邓文辉
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唐才学
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袁志刚
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徐曦
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大气等离子体加工大口径非球面光学元件的对刀装置
本发明提供一种高精度的大气等离子体加工大口径非球面光学元件的对刀装置,空气压缩机、储气罐、过滤器、电磁阀、调速阀和气动滑台之间依次通过气管连接,所述气动滑台安装在支撑架上,所述气动滑台端部连接触发测头,所述触发测头的上下...
金会良
张清华
邓文辉
唐才学
徐曦
袁志刚
侯晶
陈贤华
文献传递
平面抛光盘表面形状误差的检测装置
本实用新型提供一种检测精度较高的抛光盘表面形状误差的检测装置。平面抛光盘表面形状误差的检测装置,设置有支撑座,在所述支撑座上端设置有横梁,在所述横梁上设置有导轨和电机,所述电机包括定子和动子,移动块通过滑块设置在所述动子...
廖德锋
赵世杰
谢瑞清
陈贤华
王健
许乔
钟波
袁志刚
邓文辉
唐才学
徐曦
周炼
文献传递
大气等离子体加工大口径非球面光学元件的对刀方法
本发明提供一种高精度的大气等离子体加工大口径非球面光学元件的对刀方法。大气等离子体加工大口径非球面光学元件的对刀方法,先进行光学元件侧边平行于水平坐标轴的调节,然后对光学元件表面沿中心轴线对称坐标位置的Z向进行调平,最后...
金会良
张清华
邓文辉
唐才学
徐曦
袁志刚
侯晶
陈贤华
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全口径平面抛光中抛光盘表面形状的检测方法
本发明提供一种全口径平面抛光中检测精度高的抛光盘表面形状的检测方法。全口径平面抛光中抛光盘表面形状的检测方法,该方法包括以下步骤:1)确定移动块运动导轨的直线度误差;2)结合抛光盘的旋转运动和移动块的直线运动测得抛光盘表...
廖德锋
谢瑞清
赵世杰
陈贤华
王健
许乔
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唐才学
徐曦
周炼
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平面抛光盘表面形状误差的检测装置
本发明提供一种检测精度较高的抛光盘表面形状误差的检测装置。平面抛光盘表面形状误差的检测装置,设置有支撑座,在所述支撑座上端设置有横梁,在所述横梁上设置有导轨和电机,所述电机包括定子和动子,移动块通过滑块设置在所述动子和导...
廖德锋
赵世杰
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陈贤华
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大气等离子体加工大口径非球面光学元件的对刀装置
本发明提供一种高精度的大气等离子体加工大口径非球面光学元件的对刀装置,空气压缩机、储气罐、过滤器、电磁阀、调速阀和气动滑台之间依次通过气管连接,所述气动滑台安装在支撑架上,所述气动滑台端部连接触发测头,所述触发测头的上下...
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全口径平面抛光中抛光盘表面形状的检测方法
本发明提供一种全口径平面抛光中检测精度高的抛光盘表面形状的检测方法。全口径平面抛光中抛光盘表面形状的检测方法,该方法包括以下步骤:1)确定移动块运动导轨的直线度误差;2)结合抛光盘的旋转运动和移动块的直线运动测得抛光盘表...
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大气等离子体加工大口径非球面光学元件的对刀方法
本发明提供一种高精度的大气等离子体加工大口径非球面光学元件的对刀方法。大气等离子体加工大口径非球面光学元件的对刀方法,先进行光学元件侧边平行于水平坐标轴的调节,然后对光学元件表面沿中心轴线对称坐标位置的Z向进行调平,最后...
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陈贤华
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大气等离子体加工参数对F和CF2光谱特性的影响研究
在大气等离子体加工去除的化学反应过程中,反应气体的激发和电离是等离子体发生化学反应的关键步骤之一。通过原子发射光谱测量技术对反应气体CF激发的光谱进行分析,研究大气等离子体加工参数对反应活性F原子和CF自由基光谱特性的作...
金会良
邓文辉
唐才学
陈贤华
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大气等离子体
原子发射光谱
F原子
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平面抛光盘表面形状误差的检测装置
本发明提供一种检测精度较高的抛光盘表面形状误差的检测装置。平面抛光盘表面形状误差的检测装置,设置有支撑座,在所述支撑座上端设置有横梁,在所述横梁上设置有导轨和电机,所述电机包括定子和动子,移动块通过滑块设置在所述动子和导...
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