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冯龙

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：西安交通大学更多>>
发文基金：中国博士后科学基金国家科技重大专项更多>>
相关领域：金属学及工艺电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇金属学及工艺
  • 1篇电子电信

主题

  • 5篇光栅尺
  • 3篇压印
  • 3篇光刻
  • 3篇辊压
  • 2篇涂覆方法
  • 2篇网纹辊
  • 2篇线接触
  • 2篇膜结构
  • 2篇机床
  • 2篇光刻胶
  • 2篇光栅
  • 2篇辊涂
  • 2篇保护膜
  • 1篇电铸
  • 1篇掩膜
  • 1篇掩膜版
  • 1篇图形化
  • 1篇柱面
  • 1篇光栅结构
  • 1篇步进

机构

  • 6篇西安交通大学

作者

  • 6篇刘红忠
  • 6篇史永胜
  • 6篇尹磊
  • 6篇冯龙
  • 5篇卢秉恒
  • 5篇丁玉成
  • 5篇李烜
  • 5篇杨俊
  • 4篇蒋维涛
  • 3篇刘树林
  • 3篇王良军

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2014
  • 1篇2013
  • 3篇2012
  • 1篇2011
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
机床用超长光栅尺逆辊压印成型方法
本发明公开一种制造机床用超长光栅尺逆辊压印成型方法，该方法采用网纹辊涂胶的方式，并用刮刀与之配合控制UV固化光刻胶胶量，通过网纹辊与模具的回转运动将光刻胶转移到模具表面，使UV固化光刻胶完全填充模具的槽型微结构，并对光刻...
刘红忠李烜史永胜尹磊冯龙杨俊丁玉成卢秉恒
步进式旋转光刻制备柱面微结构光栅模具
2013年
相对于常规光栅制造方法 (如机械刻划和光学曝光等工艺)而言,连续辊压印技术更易实现低成本、连续和高效的大面积制造。高精度栅结构辊压印圆柱辊模具的制备工艺技术是连续辊压印技术实现高精度光栅复制的关键技术。针对这一问题提出了一种步进式旋转光刻工艺路线,将小区域的微结构光栅掩模通过步进式拼接曝光方式实现模具表面整周完整光栅的曝光。区别于传统平面曝光过程,筒形模具曲面曝光采用步进式旋转光刻工艺,其关键技术是:搭建高步进精度的旋转曝光工艺实验平台、解决筒形模具外径及光栅周期匹配问题和优化接近式拼接曝光工艺中的曝光间隙。通过理论分析和实验验证,得出了优化的步进旋转角度、筒形模具外径、光栅周期和接近式曝光间隙的条件,通过此工艺完成了柱面模具表面周期为20μm级的光栅结构的制备,为采用辊压印技术实现低成本、连续和高效大面积光栅制造创造了有利条件。
冯龙蒋维涛刘红忠史永胜尹磊
关键词：光栅
一种机床测量用光栅尺保护膜的涂覆方法
本发明公开一种机床测量用光栅尺保护膜的涂覆方法，该方法是用辊涂的方式在转移薄膜上涂覆保护膜，用刮刀控制厚度，以张紧力控制保护膜的均匀性，将转移薄膜上的保护膜的进行预固化，以提高其粘度，便于其向光栅线槽中填充；然后采用辊压...
刘红忠刘树林尹磊史永胜蒋维涛王良军冯龙李烜杨俊丁玉成卢秉恒
机床用超长光栅尺逆辊压印成型方法
本发明公开一种制造机床用超长光栅尺逆辊压印成型方法，该方法采用网纹辊涂胶的方式，并用刮刀与之配合控制UV固化光刻胶胶量，通过网纹辊与模具的回转运动将光刻胶转移到模具表面，使UV固化光刻胶完全填充模具的槽型微结构，并对光刻...
刘红忠李烜史永胜尹磊冯龙杨俊丁玉成卢秉恒
文献传递
超长光栅尺辊压模具表面图形化的快速加工方法
本发明公开一种超长光栅尺辊压模具表面图形化的快速加工方法，包括以下步骤：1)选择辊压模具，2)辊压模具清洗，3)辊压模具表面涂胶，4)辊压模具前烘处理，5)辊压模具的固定，6)掩膜版的选取和调整，7)曝光。本发明采用曝光...
刘红忠冯龙史永胜尹磊蒋维涛王良军刘树林李烜杨俊丁玉成卢秉恒
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一种机床测量用光栅尺保护膜的涂覆方法
本发明公开一种机床测量用光栅尺保护膜的涂覆方法，该方法是用辊涂的方式在转移薄膜上涂覆保护膜，用刮刀控制厚度，以张紧力控制保护膜的均匀性，将转移薄膜上的保护膜的进行预固化，以提高其粘度，便于其向光栅线槽中填充；然后采用辊压...
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