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徐睿

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：电子科技大学光电信息学院更多>>
发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
相关领域：理学一般工业技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 1篇氢化非晶硅
  • 1篇氢化非晶硅薄...
  • 1篇光谱
  • 1篇硅薄膜
  • 1篇非晶
  • 1篇非晶硅
  • 1篇非晶硅薄膜
  • 1篇ER模型
  • 1篇BLOOM

机构

  • 1篇电子科技大学

作者

  • 1篇蒋亚东
  • 1篇祁康成
  • 1篇郭安然
  • 1篇何剑
  • 1篇徐睿
  • 1篇李伟

传媒

  • 1篇光学学报

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
氢化非晶硅薄膜的光谱椭偏研究被引量：3
2013年
氢化非晶硅(a-Si…H)薄膜在微电子和光电子工业中有着重要的应用,而椭偏分析技术是一种重要的薄膜表征手段。利用椭偏测量技术并采用Tauc-Lorentz(TL)模型和Forouhi-Bloomer(FB)模型,从不同角度对比研究了a-Si…H薄膜的结构和光学特性。分析结果表明,用两种不同模型得到的a-Si…H薄膜厚度、粗糙层厚度以及光学常数并不一致,由TL模型得到的薄膜厚度更接近扫描电镜(SEM)测量的结果,粗糙层厚度更接近原子力显微镜(AFM)测量结果对应的经验值。结合已发表的文献,分析发现膜厚差异主要来自于模型对薄膜光学参数的不同描述,而光学参数的差异是由于模型推导过程中的不同假设和数学处理产生的。
何剑李伟徐睿郭安然祁康成蒋亚东
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