杨涛
- 作品数：5 被引量：2H指数：1
- 供职机构：中国科学院兰州化学物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺更多>>
- 在碳素钢或球墨铸铁表面制备类金刚石薄膜的方法
- 本发明公开了一种在碳素钢或球墨铸铁表面制备类金刚石薄膜的方法。采用高频双极脉冲磁控溅射在碳素钢或球墨铸铁表面制备结合强度高的类金刚石薄膜。磁控溅射工艺成熟、设备简单、沉积温度低、成膜均匀、重复性好的优点结合高频脉冲的高离...
- 张俊彦张斌杨涛强力郑愉
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- 在金属内表面制备类金刚石碳膜的方法
- 本发明公开了一种在金属内表面制备类金刚石碳膜的方法，具体是利用等离子体化学气相沉积技术，在内表面制备高硬度、低摩擦系数、良好的耐腐蚀性和低粘着力的类金刚石薄膜的方法。本发明能够在发动机缸套、储油罐内壁、排气管道、消音器等...
- 张俊彦张斌强力杨涛郑愉
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- 基底温度对掺氟类金刚石碳膜摩擦学性能的影响被引量：2
- 2012年
- 以CF4,CH4和H2作为前驱气体,改变基底温度,通过直流脉冲等离子气相沉积法(PECVD)制备掺氟类金刚石碳膜,用傅里叶红外光谱仪分析薄膜的键合结构,用拉曼光谱仪分析薄膜中杂化碳的sp2和sp3的存在状态,用纳米压痕仪和UMT-2MT摩擦磨损实验机分别测量了薄膜的硬度、摩擦因数等机械性能。结果表明,F主要以C-F3,C-Fx(x=1,2,3)基团的形式存在于薄膜中;基底温度从不加热到500℃的范围,薄膜能够保持较低于0.020的摩擦因数;且基底温度为400℃时薄膜具有0.016的最低摩擦因数,但当基底温度超过600℃时,会破坏薄膜的内部结构而使机械性能下降。
- 崔锦峰杨涛张斌强力郑愉张俊彦
- 关键词：氟掺杂
- 在金属内表面制备类金刚石碳膜的方法
- 本发明公开了一种在金属内表面制备类金刚石碳膜的方法，具体是利用等离子体化学气相沉积技术，在内表面制备高硬度、低摩擦系数、良好的耐腐蚀性和低粘着力的类金刚石薄膜的方法。本发明能够在发动机缸套、储油罐内壁、排气管道、消音器等...
- 张俊彦张斌强力杨涛郑愉
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- 在硅基底表面制备含氟碳基薄膜的方法
- 本发明公开了一种在硅基底表面制备含氟碳基薄膜的方法。本发明以四氟化碳作为前驱气体，利用增强型化学气相沉积方法在抛光硅片表面沉积薄膜。该方法成本低、周期短，操作简便，且制备出的薄膜致密、稳定、均匀、与基底结合力好，具有优异...
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