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石艺楠

作品数：2 被引量：2H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 1篇电机
  • 1篇直线电机
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体设备

机构

  • 2篇中国电子科技...

作者

  • 2篇石艺楠
  • 1篇赵立华
  • 1篇谭立杰
  • 1篇周庆亚
  • 1篇黄卫国
  • 1篇郝静

传媒

  • 2篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2019
  • 1篇2011
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
固晶机整机布局与效率研究被引量：1
2011年
LED固晶机是LED产业后封装工序的首道关键设备,介绍固晶机四大机构以及其相互之间的几种布局关系,并从设备运行效率的角度入手,探讨了布局的优缺点。
周庆亚郝静石艺楠
直线电机在半导体设备中的典型应用分析被引量：1
2019年
随着直线电机理论和产业的逐渐成熟,其在半导体设备中的应用也越来越广泛;两种典型结构直线电机,即U型电机、平板电机,具有结构简单、高响应特性和高精度等特点,从设计选型、抗干扰和精度控制等几方面举例分析。
赵立华谭立杰黄卫国石艺楠张永昌
关键词：直线电机半导体设备
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