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陈立军
作品数:
1
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供职机构:
苏州科技学院数理学院
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发文基金:
江苏省产学研前瞻性联合研究项目
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相关领域:
电气工程
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合作作者
程新利
苏州科技学院数理学院
臧涛成
苏州科技学院数理学院
沈娇艳
苏州科技学院数理学院
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MEMS热驱动可变电容的有限元模拟研究
2014年
设计了一种热致驱动MEMS可变电容器,其主要结构由固定于衬底的下极板和可上下活动的上极板组成;上极板由四个对称结构的热驱动器驱动,每个热驱动器主要包括两根冷臂和两根加热臂。通过输入电压,热驱动器发生形变,带动电容器的上极板向上运动,从而使电容值减小。有限元方法模拟结果表明:在4 V驱动电压下,加热臂长为150μm时,电容值变为原先的0.3倍;而加热臂长为300μm时,电容值只有原先的1/10。
沈娇艳
陈立军
程新利
臧涛成
关键词:
有限元分析
可变电容
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