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陈立军

作品数:1 被引量:0H指数:0
供职机构:苏州科技学院数理学院更多>>
发文基金:江苏省产学研前瞻性联合研究项目国家自然科学基金更多>>
相关领域:电气工程电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇电气工程

主题

  • 1篇有限元
  • 1篇有限元分析
  • 1篇驱动器
  • 1篇热驱动
  • 1篇可变电容
  • 1篇MEMS

机构

  • 1篇苏州科技学院

作者

  • 1篇沈娇艳
  • 1篇臧涛成
  • 1篇陈立军
  • 1篇程新利

传媒

  • 1篇苏州科技学院...

年份

  • 1篇2014
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
MEMS热驱动可变电容的有限元模拟研究
2014年
设计了一种热致驱动MEMS可变电容器,其主要结构由固定于衬底的下极板和可上下活动的上极板组成;上极板由四个对称结构的热驱动器驱动,每个热驱动器主要包括两根冷臂和两根加热臂。通过输入电压,热驱动器发生形变,带动电容器的上极板向上运动,从而使电容值减小。有限元方法模拟结果表明:在4 V驱动电压下,加热臂长为150μm时,电容值变为原先的0.3倍;而加热臂长为300μm时,电容值只有原先的1/10。
沈娇艳陈立军程新利臧涛成
关键词:有限元分析可变电容
共1页<1>
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