蒋欣
- 作品数：54 被引量：30H指数：4
- 供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国人民解放军总装备部预研基金国防基础科研计划更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术更多>>
- 一种温度补偿型低损耗超宽带谐振器及滤波器
- 本发明公开了一种温度补偿型低损耗超宽带谐振器，包括15°铌酸锂基片，所述基片上梳状设置有金属指条，所述基片及金属指条上设置有一层二氧化硅温度补偿层，所述金属指条的宽度d与所述超宽带声表面波谐振器的半个谐振周期p的比值的取...
- 谭发曾蒋欣刘娅彭霄李燕金中
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- LiNbO3单晶薄膜体声波谐振器的研制
- 2019年
- 该文介绍了一种采用智能截割(Smart CutTM)技术制备的单晶铌酸锂(LiNbO3)薄膜体声波谐振器。采用COMSOL有限元仿真软件从材料和结构两方面对LiNbO3薄膜体声波谐振器进行优化设计,以实现高机电耦合系数,并通过Smart CutTM工艺方法制备了高性能Z切-LiNbO3单晶薄膜作为谐振器的压电层,最终得到LiNbO3薄膜体声波谐振器的谐振频率为3847.5MHz,反谐振频率为3986.25MHz,插入损耗为1.81dB,谐振器有效机电耦合系数达到8.3%。
- 彭霄田本朗毛世平杜波蒋欣徐阳马晋毅蒋平英
- 关键词：机电耦合薄膜体声波谐振器
- 一种防止声表面波器件在温度试验中静电烧伤的方法
- 本发明公开了一种防止声表面波器件在温度试验中静电烧伤的方法，先将声表面波器件放入导电容器中，然后加入导电介质以将声表面波器件完全填埋，再盖上导电容器盖，最后将导电容器放入温度试验装置，使声表面波器件在整个温度试验过程中有...
- 赵雪梅刘光聪董加和周毅夏艳鄢秋娟张静雯蒋欣冷俊林伍平
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- 二氟化氙释放牺牲层多晶硅刻蚀速率研究
- 2016年
- 该文研究了相关工艺参数对二氟化氙(XeF_2)干法释放多晶硅的释放速率的影响。结果表明,对于薄膜体声波谐振器(FBAR)悬臂结构,腔室压力不变时,随着载气N_2流量的增大,刻蚀速率先增加后减少,刻蚀速率最大值为10.3μm/min;载气N2流量不变时,腔室压力越大,工艺腔室参与刻蚀反应的XeF_2气体的浓度增大,刻蚀速率越大。当腔室压力超过1 200Pa时,随着腔室压力的增加,刻蚀速率的增长率逐渐减小。
- 司美菊杜波田本朗徐阳金成飞蒋欣江洪敏马晋毅
- 关键词：空气隙干法刻蚀刻蚀速率粗糙度
- 收发通道共用声表面波滤波器组件
- 本实用新型公开一种收发通道共用声表面波滤波器组件，所述第一收发切换开关用于切换组件处于接收宽频带信号状态，或输入发射信号滤波后的信号发射状态；所述第二收发切换开关用于切换组件处于输入接收信号滤波后的信号接收状态，或输入发...
- 吕翼唐盘良黄莹张龙蒋欣
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- 一种压电薄膜换能器用WSiAlN薄膜及其制备方法
- 本发明提供一种压电薄膜换能器用WSiAlN薄膜及其制备方法，该压电薄膜换能器用WSiAlN薄膜包括底电极以及位于底电极上的压电薄膜，底电极采用WSi材料制成，压电薄膜采用AlN材料制成。本发明通过采用WSi材料制成底电极...
- 欧黎徐阳江洪敏司美菊姜华男张永川马晋毅龙飞杜波蒋欣金成飞田本朗
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- 基于纵向耦合结构的宽带声表面波滤波器设计被引量：2
- 2013年
- 基于纵向耦合五换能器结构,采用41°YX-LiNbO3基片材料,通过优化设计,研制出中心频率232MHz,3dB带宽23.5MHz的声表面波滤波器。该产品的插入损耗-3dB,相对带宽达到10.1%,矩形系数小于2.5,阻带抑制大于40dB,产品综合性能指标优异,有很好的实用性。
- 蒋世义张幸陈彦光蒋欣董加和
- 关键词：声表面波滤波器
- 一种高阻抗声表面波谐振器
- 本发明公开了一种高阻抗声表面波谐振器，包括叉指换能器以及位于叉指换能器两侧的两反射栅，所述叉指换能器为并排设置的两个，第一叉指换能器的输入汇流条与输入端口连接，第一叉指换能器的输出汇流条与第二叉指换能器的输入汇流条电连接...
- 蒋欣陈彦光傅金桥马晋毅杜波蒋世义
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- 一种基于柔性基底的薄膜体声波谐振器被引量：1
- 2018年
- 为了能有效解决柔性基底体声波谐振器热稳定性不足及功率容量不足等问题,该文提出了一种新型的基于柔性基底的薄膜体声波谐振器。该谐振器的硅衬底上开设有一定数量的垂直上凸型结构,该结构既能有效抑制寄生模量,又能减小器件最高稳态温度和最大热应力。通过有限元分析软件Comsol Multiphics对谐振器进行仿真,结果表明,器件每增加一个上凸型结构,其最高稳态温度下降了4℃,最大热应力下降了1×104 GPa。与以往的柔性基底薄膜体声波谐振器相比,它具有更好的热传导能力和热应力稳定性。
- 杨泰张根秦康宁杜波蒋欣马晋毅钟慧石玉
- 关键词：薄膜体声波谐振器大功率
- 一种具有高功率承受力的声表面波滤波器
- 本发明公开了一种具有高功率承受力的声表面波滤波器，它包括若干声表面波谐振器，每个声表面波谐振器包括叉指换能器以及反射栅，至少部分声表面波谐振器为高阻抗声表面波谐振器，高阻抗声表面波谐振器的叉指换能器为并排设置的两个，两叉...
- 杜波陈彦光傅金桥马晋毅蒋欣蒋世义
- 文献传递
