曹霖霖
- 作品数：15 被引量：10H指数：2
- 供职机构：浙江工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金浙江省教育厅科研计划浙江省自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺机械工程化学工程更多>>
- 混合软质磨粒固着磨具抛光蓝宝石的探索研究被引量：2
- 2017年
- 研制了一种蓝宝石抛光用固着磨具,以硬度低于蓝宝石的铈基稀土和氧化镁为磨粒,基于化学热力学,藉由HSC Chemistry软件,进行混合磨粒在湿式环境下,与蓝宝石发生反应的吉布斯自由能计算和平衡成分分析。结果表明,各成分间有生成固溶体、水合物和化合物的趋势。发生反应后,再由磨粒的机械摩擦作用去除表面生成物,即可实现抛光。压强为0.02 MPa,主轴转速100 r/min时,1 h后,蓝宝石晶片中间和边缘的平均粗糙度,分别改善了Ra71 nm和Ra90nm。加工实验证明该混合软质磨粒固着磨具是一种很有潜力的蓝宝石表面质量改善工具。
- 王洁袁巨龙周向阳彭超飞曹霖霖杭伟
- 关键词：蓝宝石化学热力学
- 晶体取向对蓝宝石晶片抛光加工的影响研究被引量：1
- 2021年
- 目的对比分析不同晶向蓝宝石晶圆抛光结果,优化加工参数,探究晶体取向对抛光结果的影响规律。方法选取A、C面蓝宝石晶片(50.8 mm)为研究对象,采用控制变量法,分别以加工载荷(9.87、14.81、19.75 kPa)和抛光盘转速(20、40、60、80 r/min)为变量,以表面粗糙度Ra和材料去除率MRR为评价指标,对两种晶体取向的蓝宝石晶片进行抛光加工试验,借助3D表面轮廓仪与扫描电子显微镜SEM,对加工前后蓝宝石晶片的表面形貌进行对比,并根据试验结果优化加工参数。结果A、C面蓝宝石晶片的表面粗糙度与材料去除率,随时间均表现出先快速下降,然后逐渐变缓,最后趋于稳定的趋势。当选取转速60 r/min、载荷14.81 kPa的参数组合时,两种晶片获得目标最小粗糙度和最大材料去除率,最终得到A面Ra=24.874 nm,MRR=3.715 nm/min,C面Ra=2.763 nm,MRR=7.647 nm/min,C面材料去除率为A面的2.1~2.5倍。结论蓝宝石晶体取向作用对材料加工结果存在显著影响,在相同的加工条件下,相较于A面蓝宝石,C面蓝宝石更容易获得纳米级的表面质量和更高的材料去除率,即C面更易加工。
- 曹霖霖郭路广袁巨龙张翔吕冰海马毅杭伟赵萍
- 关键词：晶体取向蓝宝石抛光表面粗糙度材料去除率
- 一种抛光蓝宝石晶片的内含钕化物软质磨料固着磨具及其制作方法
- 一种抛光蓝宝石晶片的内含钕化物软质磨料固着磨具，所述内含钕化物软质磨料固着磨具原料的配制：按照质量百分比，纳米二氧化硅40％～60％、粘结剂20％～40％、固化剂10％～15％、钕化物5％～10％、其余为去离子水。以及提...
- 吕冰海张韬杰杭伟邓乾发曹霖霖陈芝向黄晟
- 蓝宝石微观力学行为及其半固着磨具研抛加工技术研究
- 蓝宝石（α-Al2O3）晶体具有高硬度、透光性好、化学性质稳定好等优良性能，在国防领域、航空航天领域及民用生活领域都已获得广泛认可并得到大量应用。国家中长期科学和技术发展规划纲要提出将高效节能、长寿命的半导体照明产品列入...
- 曹霖霖
- 关键词：半固着磨具研抛加工蓝宝石
- 大粒径SiO_2磨粒固结磨具加工蓝宝石试验研究被引量：6
- 2017年
- 目的验证大粒径(>30μm)SiO_2磨粒固结磨具加工蓝宝石晶片的有效性,优化磨具配方,为实现蓝宝石晶片高效、高质量、低成本加工提供有效参考。方法制作不同配方的氯氧镁结合剂SiO_2固结磨具加工蓝宝石,以去除率、表面粗糙度为评价指标,研究磨粒粒度、结合剂比例、磨粒含量对加工效果的影响。结果 6种不同粒径(均>30μm)的SiO_2磨粒固结磨具加工蓝宝石,表面粗糙度均有改善,粒径越小,改善效果越好。结合剂中,活性Mg O、MgCl_2和H_2O三者的摩尔比会影响去除率和粗糙度。磨具磨粒的含量高,去除率高,粗糙度小。结论氯氧镁结合剂中,活性MgO:MgCl_2:H_2O的摩尔比为7:1:16,325#SiO_2为磨粒,磨粒质量占结合剂质量的60%,制作磨具加工蓝宝石,转速210 r/min,加载0.4 MPa,加工3 h,去除率为平均17μm/h,表面粗糙度Ra由初始平均345 nm改善至平均9 nm。
- 王洁袁巨龙吕冰海吕迅曹霖霖彭超飞
- 关键词：SIO2固结磨具大粒径蓝宝石固相反应
- 一种抛光蓝宝石晶片的内含钕化物软质磨料固着磨具及其制作方法
- 一种抛光蓝宝石晶片的内含钕化物软质磨料固着磨具，所述内含钕化物软质磨料固着磨具原料的配制：按照质量百分比，纳米二氧化硅40％～60％、粘结剂20％～40％、固化剂10％～15％、钕化物5％～10％、其余为去离子水。以及提...
- 吕冰海张韬杰杭伟邓乾发曹霖霖陈芝向黄晟
- 文献传递
- 一种钽酸锂晶片的磨削加工方法
- 一种钽酸锂晶片的磨削加工方法，包括如下步骤：(1)将金刚石组合砂轮固定在磨床的转盘上；(2)将待加工的钽酸锂晶片固定在基板上，所述基板固定在工作台上；(3)加工前开启冷却液覆盖所述待加工的钽酸锂晶片的全部表面，所述冷却液...
- 杭伟周立波袁巨龙林旺票王洁邓乾发曹霖霖
- 文献传递
- 一种智能控力蓝宝石抛光装置
- 一种智能控力蓝宝石抛光装置，包括旋转基盘，所述旋转基盘上安装修整器、抛光液输送装置和载样盘，所述载样盘可周向转动地安装在轴向固定装置上，所述旋转基盘的下部安装压力感应装置，所述压力感应装置与所述智能控力装置连接，所述智能...
- 张韬杰杭伟刘敏曾益森吕冰海邓乾发曹霖霖
- 文献传递
- 一种基于内含钕化物软质磨料固着磨具的蓝宝石晶片抛光方法
- 一种基于内含钕化物软质磨料固着磨具的蓝宝石晶片抛光方法，包括以下步骤：1)基于内含钕化物软质磨料固着磨具原料的配制：纳米二氧化硅40％～60％、粘结剂20％～40％、固化剂10％～15％、钕化物5％～10％、其余为去离子...
- 吕冰海张韬杰邓乾发杭伟曹霖霖陈芝向黄晟
- 文献传递
- 一种钽酸锂晶片的磨削加工方法
- 一种钽酸锂晶片的磨削加工方法，包括如下步骤：(1)将金刚石组合砂轮固定在磨床的转盘上；(2)将待加工的钽酸锂晶片固定在基板上，所述基板固定在工作台上；(3)加工前开启冷却液覆盖所述待加工的钽酸锂晶片的全部表面，所述冷却液...
- 杭伟周立波袁巨龙林旺票王洁邓乾发曹霖霖
