郭旭东
- 作品数：2 被引量：7H指数：1
- 供职机构：长春理工大学光电工程学院更多>>
- 发文基金：吉林省自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信更多>>
- 圆锥形仿生蛾眼抗反射微纳结构的研制被引量：7
- 2017年
- 采用时域有限差分(FDTD)法对中红外波段(3~5μm)硅基底的圆锥形仿生蛾眼微纳结构进行了仿真模拟。通过对微纳结构占空比、周期和刻蚀深度等参数的分析,获得了具有良好抗反射特性的微纳结构的组合参数。为了更好地指导实际加工,对不同参数进行了公差分析。制作中应用二元曝光技术和反应离子刻蚀技术在硅基底上制备得到该圆锥形仿生蛾眼微结构,并且使用热场发射扫描电子显微镜得到了该微结构的表面形貌图。采用红外成像光谱仪对单面微结构的测试结果表明,仿生蛾眼微结构的反射率在中红外波段约为5%。
- 郭旭东董亭亭付跃刚陈驰温春超
- 关键词：反射率时域有限差分法反应离子刻蚀
- 中红外波段仿蛾眼表面高斯面形抗反射微纳结构优化被引量：1
- 2017年
- 基于严格耦合波分析理论,设计中波红外波段3~5μm的仿生蛾眼表面高斯面形周期阵列抗反射微纳结构,用三维有限时域差分法进行仿真模拟优化,分析了结构阵列周期、占空比、刻蚀深度对反射率和透过率的影响,比较高斯面形、抛物面形、圆锥形结构模型抗反射效果,给出了最优化参数组合。分析了加工过程中周期、占空比和刻蚀深度以及外部形状轮廓偏差对蛾眼微纳结构的影响,给出了在要求抗反射效果下允许的结构参数公差尺寸范围和建议加工尺寸,结果得到的抗反射结构反射率低于3%~5%,透过率高于90%。
- 温春超董亭亭付跃刚陈驰郭旭东
- 关键词：公差分析
