谢长青
- 作品数：35 被引量：7H指数：2
- 供职机构：中国工程物理研究院激光聚变研究中心更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国科学院知识创新工程国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信更多>>
- 一种高谱分辨与宽谱测量范围的透射光栅谱仪
- 本发明提供了一种高谱分辨与宽谱测量范围的透射光栅谱仪，所述的透射光栅谱仪包括入射狭缝、透射光栅、条纹相机以及与条纹相机相匹配的光阴极狭缝和光阴极；物体发出的X射线通过入射狭缝，经透射光栅色散，形成两个分辨率不同的光谱，两...
- 易涛王传珂刘慎业王保清李晋朱效立谢长青
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- 阵列部分环带光子筛匀光器
- 本发明公开了一种阵列部分环带光子筛匀光器及其制作方法。该阵列部分环带光子筛匀光器是一种在透明介质上根据实际需要制造的部分环带光子筛阵列，阵列的大小由实际需要给出。该部分环带光子筛是一种在透明介质上先制造普通的光子筛，然后...
- 贾佳谢长青刘明
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- 超分辨光子筛的制造方法
- 本发明公开了一种超分辨光子筛的制造方法，在透普通的光子筛上集成刻蚀等孔径的超分辨位相环，从而形成由普通光子筛和等孔径超分辨位相片合成的有多个同心环带的位相衍射单元的位相板。本发明将超分辨技术的圆孔衍射数学处理工具和普通光...
- 贾佳谢长青刘明
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- 匀光器及其制作方法
- 本发明实施例公开了一种匀光器及其制造方法，所述匀光器为多个环带光子筛单元组成的阵列，所述环带光子筛单元包括波带片和所述波带片的不透光环带上随机分布的透光孔。通过基本单元的波带片及波带片的不透光环带上的透光孔，实现了位相型...
- 谢长青翁永超朱效立高南刘明
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- 全环光子筛
- 本发明公开了一种全环光子筛，该全环光子筛包括：光子筛，该光子筛制作在透明介质上，其衍射孔径与相应菲涅耳环带宽度相等；刻蚀圆孔，该刻蚀圆孔位于其余的菲涅耳环带处；该刻蚀圆孔数量和位置的决定规律与光子筛圆环相同，从原来的偶数...
- 贾佳谢长青刘明
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- 90nm硅栅过刻蚀工艺中功率对等离子体性质的影响被引量：2
- 2007年
- 通过实验对适用于90nm多晶硅栅刻蚀工艺中过刻蚀阶段等离子体的性质进行了研究分析.实验采用满足200mm硅晶片刻蚀的电感耦合多晶硅刻蚀设备,借助等离子体分析仪器(朗缪尔探针)进行实验数据测定,得到了等离子体性质与功率、气体流量等外部参数的关系.实验表明在射频功率增加的过程中,能量耦合系数处于一个相对稳定的常值;当等离子体处于局部加热状态时,绝大部分的电子处于附着状态,维持等离子体的电子数目相对减少.等离子体中的射频能量耦合空间随着射频功率的增加,分布状态会变得更加一致化.
- 张庆钊谢长青刘明李兵朱效立
- 关键词：等离子体干法刻蚀朗谬尔探针
- 阵列环带光子筛匀光器及其制作方法
- 本发明公开了一种阵列环带光子筛匀光器及其制作方法。该阵列环带光子筛匀光器是一种在透明介质上制造的环带光子筛阵列，采用环带光子筛作为阵列的基本单元。该环带光子筛由多条同心的衍射孔环带与多条同心的刻蚀圆环环带交替嵌套而成，且...
- 贾佳谢长青刘明
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- 隧穿二极管整流器件及其制造方法
- 本发明涉及微电子器件与存储器技术领域，公开了一种用于双极性阻变存储器的隧穿二极管整流器件及其制造方法，该隧穿二极管整流器件包括：下电极；下电极之上的整流功能层；上电极。本发明的整流器件能够提供较高的电流密度，与阻变存储器...
- 刘明谢宏伟龙世兵吕杭炳刘琦李颖弢谢长青
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- 软X光谱学光子筛衍射特性的实验表征被引量：4
- 2011年
- 概述了谱学光子筛的设计原理,计算了其透射率,并对设计的软X光谱学光子筛的衍射模式在光学波段进行了模拟计算和实验表征。结果表明,这种新型色散元件具有良好的、与设计预期一致的单级衍射特性,3级及以上的高级衍射能被有效抑制。与传统的透射光栅和以前设计的单级衍射光栅相比,新设计的软X光谱学光子筛更易于实现自支撑,可望在极紫外和软X光谱测量过程中得到广泛应用。
- 魏来曹磊峰范伟臧华萍高宇林朱效力谢长青谷渝秋张保汉王晓方
- 关键词：衍射光栅衍射特性
- 阵列部分环带光子筛匀光器及其制作方法
- 本发明公开了一种阵列部分环带光子筛匀光器及其制作方法。该阵列部分环带光子筛匀光器是一种在透明介质上根据实际需要制造的部分环带光子筛阵列，阵列的大小由实际需要给出。该部分环带光子筛是一种在透明介质上先制造普通的光子筛，然后...
- 贾佳谢长青刘明
