您的位置： 专家智库 > >

吴伟

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电子光学
  • 1篇电子束
  • 1篇电子束曝光
  • 1篇电子束曝光机
  • 1篇偏转
  • 1篇偏转器
  • 1篇曝光机
  • 1篇光学

机构

  • 1篇中国科学院电...
  • 1篇中国科学院科...

作者

  • 1篇康念坎
  • 1篇吴伟

传媒

  • 1篇电子科学学刊

年份

  • 1篇1990
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
变形电子束曝光机成形偏转器的设计和性能被引量：1
1990年
在变形电子束曝光机中,为使曝光均匀必须保证靶上束斑电流密度物边缘分辨率不随束斑形状和尺寸的变化而改变。实现这一目标的关键是正确设计成形偏转器。本文讨论采用高灵敏度平行板偏转器实现成形偏转时,为达到上述目标应进行的线性补偿和旋转补偿的设计计算方法。给出了用实验方法改变电子源象与偏转板几何中心的轴向距离所测得的线性补偿因子和旋转补偿因子的值。实验结果与计算值符合较好。
康念坎江钧基吴伟黄兰友吴明均
关键词：电子束曝光机偏转器电子光学
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0