孙文卿 作品数:11 被引量:6 H指数:2 供职机构: 南京理工大学 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 更多>> 相关领域: 机械工程 金属学及工艺 自动化与计算机技术 电子电信 更多>>
基于频域变换的两平晶互检求解算法 绝对检验技术作为一种高精度平面面形测量手段,其面形求解算法是其中的重要环节。本文提出了一种平面绝对检验的频域面形恢复算法。该算法基于两平晶互检方法,对其中一个被测面增加不同旋转角度的测量。通过频域求解算法,被测面的三维绝... 孙文卿 陈磊 何勇 朱日宏关键词:光学测量 文献传递 柱状非球面镜轮廓测试技术研究 非球面可以获得球面光学元件无可比拟的成像质量,在光学系统中能够很好地矫正多种像差,改善成像质量,提高系统鉴别能力。然而高精度,高质量的非球面加工和检测技术一直是制约非球面进一步广泛应用的瓶颈。对于非球面镜的测量,一般都是... 苏晓平 周舒 孙文卿 陈磊文献传递 基于频域变换的两平晶互检求解算法 被引量:2 2012年 提出了一种平面绝对检验的频域面形恢复算法。算法基于两平晶互检方法,对其中一个被测面增加不同旋转角度的测量。通过频域求解算法,可以恢复出被测面的三维绝对面形分布。该数值处理重建算法利用快速傅里叶变换(FFT)和线性滤波处理测量数据。将本文算法结果同传统Zernike多项式拟合算法结果进行了对比,结果吻合较好。3个面的最大PV(peak to valley)值偏差为0.027λ,最大RMS(root mean square)值偏差为0.003λ。实验结果表明,本文算法即使在高空间分辨率的情况下,误差传递也较低,同时计算效率较高。 孙文卿 陈磊 何勇 朱日宏关键词:光学测量 非圆孔径离散采样点正交多项式波前拟合 被引量:1 2015年 Zernike多项式拟合是一种在光学领域中广泛应用的分析技术。由于现代光学工程中采集数据的离散性和非圆孔径系统的大量使用,Zernike多项式拟合不能完全满足分析需要。提出了一种基于Zernike多项式的非圆孔径离散采样点的正交多项式。通过矩阵的QR分解方法得到在离散采样点上的正交多项式基底。分别使用Zernike多项式和正交多项式对150 mm×90 mm的矩形光栅反射波前进行拟合,结果表明两种方法残差波前的PV和RMS值分别相差0.013波长和小于0.001波长。对比不同项数拟合的正交多项式和Zernike多项式系数表明,正交多项式系数之间彼此独立,并由正交多项式系数计算得到了对应的Seidel像差。正交多项式各项系数可以逐项求解,该方法可以显著提高求解速度。 孙文卿 陈磊 李金鹏 乌兰图雅 何勇关键词:光学测量 ZERNIKE多项式 正交多项式 两平晶方法平面绝对检验技术 被引量:2 2010年 为了解决大口径光学平面的高精度检测问题,用绝对检验方法对大口径光学平面局部进行检测.采用两平晶互检的方法,得到局部面型的绝对面型分布情况,再通过子孔径拼接技术将有重叠的各个子孔径数据进行拼接,从而得到全口径上的面型分布情况.首先,在中小口径的干涉仪上进行了实验,用一块60mm的小口径平晶检测了150mm口径的Zygo标准面,得到了其水平方向上的绝对面型分布,将其和全口径三面互检法绝对检验数据进行了对比分析,2种测量方法的最大PV偏差为0.004λ,RMS偏差为0.001λ,结果基本吻合.然后将所述的方法用于检测大口径光学平面(600mm)在水平方向上的绝对面型分布.将两平晶互检结合子孔径拼接技术的方法,可以避免传统方法在实施绝对检验时需要反复替换翻转大口径平晶而难以检测的问题,从而实现大口径光学平面的高精度检测. 孙文卿 陈磊 徐晨关键词:光学测量 子孔径拼接 两平晶互检法绝对检验测量不确定度研究 1、引言为了更好的满足科学研究和工程技术中对高精度光学平面的要求,多种平面绝对检验方法已经被提出,例如最早的是利用液面法实现绝对检验,后来又提出了Schulz方法、Fritz方法、奇偶函数法、旋转对称法等多种三面检验方法... 孙文卿 陈磊 徐晨文献传递 光学平面元件绝对检验及其关键技术研究 光学干涉测量是获取、记录及计算光波相干叠加形成明暗条纹的一种测量方法,该方法测量精度可达到深亚波长量级,同时兼具大量程、非接触、高灵敏度等优势,是公认的检测光学零件、光学系统的一种有效而准确的手段,在光学加工、仪器设计、... 孙文卿关键词:测量方法 波面拟合 两平晶方法平面绝对检验技术 为了解决大口径光学平面的高精度检测问题,用绝对检验方法对大口径光学平面局部进行检测.采用两平晶互检的方法,得到局部面型的绝对面型分布情况,再通过子孔径拼接技术将有重叠的各个子孔径数据进行拼接,从而得到全口径上的面型分布情... 孙文卿 陈磊 徐晨关键词:光学测量 子孔径拼接 文献传递 两平晶方法平面绝对检验技术研究 为了解决大口径光学平面的高精度检测问题.用绝对检验方法对大口径光学平面局部进行检测,采用两平晶互检的方法,得到局部面型的绝对面型分布情况,再通过子孔径拼接技术将有重叠的各个子孔径数据进行拼接,从而得到全口径上的面型分布情... 孙文卿 陈磊 徐晨关键词:光学测量 子孔径拼接 光学平面子孔径拼接绝对检验技术研究 1、引言随着科学技术不断进步,装备制造水平不断提高,对光学平面的精度提出了更高的要求。为了提高检验精度,一种途径是寻找更高精度的标准面;另一种途径就是通过绝对检验技术实现。光学平面绝对检验技术是指通过光学干涉测量方法对光... 孙文卿 陈磊 徐晨文献传递