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牛迪

作品数：7 被引量：3H指数：1
供职机构：上海交通大学更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：机械工程航空宇航科学技术金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程
  • 1篇航空宇航科学...

主题

  • 3篇涂层
  • 3篇绝缘
  • 3篇高温
  • 2篇等离子
  • 2篇等离子喷涂
  • 2篇电镀
  • 2篇喷涂
  • 2篇子层
  • 2篇离子喷涂
  • 2篇绝缘涂层
  • 2篇孔洞填充
  • 2篇基片
  • 2篇硅基
  • 2篇合金
  • 2篇封孔
  • 2篇干膜
  • 2篇高深宽比
  • 2篇高温合金
  • 2篇TSV
  • 1篇等离子喷涂技...

机构

  • 7篇上海交通大学

作者

  • 7篇牛迪
  • 6篇丁桂甫
  • 6篇孙云娜
  • 2篇罗江波
  • 2篇王博
  • 2篇王艳
  • 1篇姚锦元
  • 1篇段力
  • 1篇王艳

传媒

  • 1篇仪表技术与传...

年份

  • 1篇2019
  • 2篇2017
  • 2篇2016
  • 2篇2015
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
一种高效电镀填充硅基TSV的方法
本发明公开一种高效电镀填充硅基TSV的方法，具体为：在晶圆上刻蚀制备TSV；在刻蚀TSV的晶圆上制备绝缘层；在含有绝缘层的晶圆上制备种子层；接着在晶圆双面贴干膜，单面光刻、显影；去除TSV侧壁端口部位的种子层；在图形化的...
孙云娜王艳王博牛迪罗江波丁桂甫
文献传递
基于MEMS技术的高温绝缘层制备方法的研究
随着航空航天技术的不断发展，对发动机上一些关键参数的测量也提出了更苛刻的要求。航空发动机是在高温下运行的，因此在高温条件下监测发动机运行中的状态对于确保安全性和可靠性至关重要。薄膜高温传感器凭借其体积小、响应快、干扰小等...
牛迪
关键词：热氧化等离子喷涂MEMS技术
文献传递
一种高温合金表面高温绝缘涂层的制备方法
本发明公开一种高温合金表面高温绝缘涂层的制备方法，步骤：1)将高温合金基片表面预处理；2)在高温合金基片表面沉积一层Ti金属层；3)在Ti金属层上继续沉积一层Al金属层；4)将高温合金基片表面的Al金属层完全氧化，直至氧...
牛迪孙云娜丁桂甫
一种高温合金表面高温绝缘涂层的制备方法
本发明公开一种高温合金表面高温绝缘涂层的制备方法，步骤：1)将高温合金基片表面预处理；2)在高温合金基片表面沉积一层Ti金属层；3)在Ti金属层上继续沉积一层Al金属层；4)将高温合金基片表面的Al金属层完全氧化，直至氧...
牛迪孙云娜丁桂甫
文献传递
高温复合多层膜结构传感器的热机械可靠性被引量：2
2015年
文中主要讨论了应用于薄膜热电偶温度传感器的复合多层膜结构在高低温热冲击条件下的热机械可靠性。采用基于FEM有限元仿真方法的弹塑性模型,系统分析了由多层膜材料热失配导致的界面复杂热应力应变分布规律。定性给出了可能导致致命可靠性问题的应力集中区域及应变积累区域分布。与400℃温度载荷相比,薄膜热电偶温度传感器在1 200℃极限温度下最大范密歇斯应力增大50%以上。同时当温度载荷反复作用时,不仅多层膜结构的过渡层受到严重破坏而且相邻界面的内部塑性形变越发严重,使与工作层相关连的界面成为可靠性薄弱区域。
李洪美孙云娜段力王艳丁桂甫张久斌牛迪
关键词：薄膜热电偶
一种高效电镀填充硅基TSV的方法
本发明公开一种高效电镀填充硅基TSV的方法，具体为：在晶圆上刻蚀制备TSV；在刻蚀TSV的晶圆上制备绝缘层；在含有绝缘层的晶圆上制备种子层；接着在晶圆双面贴干膜，单面光刻、显影；去除TSV侧壁端口部位的种子层；在图形化的...
孙云娜王艳王博牛迪罗江波丁桂甫
文献传递
一种基于MEMS微结构结合力强化的涂层制备方法
本发明公开一种基于MEMS微结构结合力强化的涂层制备方法，所述方法步骤包括：1)将高温合金基片表面打磨平整，去除表面氧化层；2)采用微加工工艺在基片表面加工形成规则的阵列微结构，微结构最小尺寸为1μm以上；3)将基片依次...
牛迪丁桂甫姚锦元孙云娜赖丽燕
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