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吴坚

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：同济大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电路
  • 1篇集成电路
  • 1篇高纯
  • 1篇硅
  • 1篇MOVPE
  • 1篇超大规模集成
  • 1篇超大规模集成...
  • 1篇大规模集成电...

机构

  • 1篇华南理工大学
  • 1篇同济大学
  • 1篇北京格兰特膜...

作者

  • 1篇闻瑞梅
  • 1篇徐志彪
  • 1篇吴坚

传媒

  • 1篇电子学报

年份

  • 1篇2003
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
MOVPE生产用高纯水中硅的去除被引量：4
2003年
本文介绍了硅对砷化镓材料生长及有机金属化合物气相淀积 (MOVPE)工艺中的影响和电脱盐 (EDI)技术以及用EDI降低高纯水中硅浓度的机理和方法 ,通过大量实验比较不同制水设备脱硅效果 ,得出用EDI技术严格控制pH(8～ 11)时脱硅效果最好 ,能使高纯水中Si的浓度 <0 5 μg/L ,满足了MO源生产及MOVPE工艺用水中Si浓度 <3μg/L的需要 .
闻瑞梅徐志彪孟广祯吴坚
关键词：硅超大规模集成电路
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共1页<1>
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