肖咸盛
- 作品数：6 被引量：10H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
- 相关领域：机械工程更多>>
- 基于MEMS电容式微加速度计的传感器和航姿仪
- 本实用新型公开了一种基于MEMS电容式微加速度计的传感器和航姿仪，该基于MEMS电容式微加速度计的传感器包括：基座；多个设置在所述基座上的MEMS电容式微加速度计，且各个所述MEMS电容式微加速度计的轴线之间具有预设夹角...
- 肖咸盛杨拥军李博
- 文献传递
- MEMS惯性器件湿法腐蚀工艺技术要求
- 本标准规定了MEMS惯性器件制造过程中湿法腐蚀的工艺流程、工艺要求和检验要求。本标准适用于圆片上铝、金、铬、钦、氧化硅等薄膜湿法腐蚀以及硅各向异性湿法腐蚀(以下简称硅湿法腐蚀)的工艺。
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- 一种高g值压阻式加速度传感器被引量：6
- 2017年
- 基于压阻效应,利用微电子机械系统(MEMS)技术,研制了一种可用于多领域的高g值加速度传感器。加速度传感器采用四端全固支八梁结构,利用力学计算、ANSYS仿真和工艺约束相结合的方法确定了结构参数。通过对压敏电阻的数量、结构和布放位置的分析与设计,进一步减小了加速度传感器的横向灵敏度。采用硅-硅键合与共晶键合相结合工艺制作了圆片级气密封装的加速度传感器芯片,并用塑封工艺实现了加速度传感器芯片的封装,易于批量生产和工业应用。最后,对加速度传感器的性能进行了测试,结果表明灵敏度为1.5~2μV/g,一阶固有频率大于200 kHz,在1.5×10~5 g量程内正常并有效工作,抗过载大于2.5×10~5 g。
- 肖咸盛卞玉民
- 关键词：压阻效应加速度传感器圆片级封装
- 一种汽车碰撞试验用低阻尼宽频响加速度传感器被引量：4
- 2017年
- 基于硅的压阻效应,利用微电子机械系统(MEMS)技术研制了一种汽车碰撞试验用低阻尼、宽频响的加速度传感器。为了满足小体积和高性能的要求,传感器采用了L型梁-质量块结构;并设计了一种全方位抗过载的新颖限位结构,保证了低阻尼传感器高过载、高可靠性。传感器芯片采用绝缘体上硅(SOI)片加工,并利用硅硅键合与共晶键合工艺相结合实现了圆片级气密封装,具有易于批量生产的优势,可以广泛应用于汽车碰撞试验。封装后的传感器采用振动法和冲击法进行性能测试,测试结果表明,传感器的量程范围大于2 000g,阻尼比为0.023,谐振频率约27.6 kHz,带内平坦度在±4%范围内带宽大于5 kHz,传感器在多次承受20 000g的冲击下没有失效。
- 肖咸盛杨拥军卞玉民张旭辉
- 关键词：压阻加速度传感器
- MEMS加速度传感器测试方法
- 本标准规定了MEMS加速度传感器电参数的测试环境、测试设备和仪器的一般要求，以及参数测试目的、测试框图、测试原理、规定条件、测试步骤和计算方法。本标准适用于MEMS加速度传感器的偏值、标度因数、阈值、分辨率、偏值短期稳定...
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- 基于MEMS电容式微加速度计的传感器和航姿仪
- 本发明公开了一种基于MEMS电容式微加速度计的传感器和航姿仪，该基于MEMS电容式微加速度计的传感器包括：基座；多个设置在所述基座上的MEMS电容式微加速度计，且各个所述MEMS电容式微加速度计的轴线之间具有预设夹角；为...
- 肖咸盛杨拥军李博
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