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张莉莉
作品数:
3
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供职机构:
中国科学院宁波材料技术与工程研究所宁波材料技术与工程研究所
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合作作者
曹鸿涛
中国科学院宁波材料技术与工程研...
吴卫华
中国科学院宁波材料技术与工程研...
梁凌燕
中国科学院宁波材料技术与工程研...
李龙
中国科学院宁波材料技术与工程研...
张洪亮
中国科学院宁波材料技术与工程研...
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中国科学院宁...
作者
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曹鸿涛
3篇
张莉莉
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梁凌燕
2篇
吴卫华
1篇
张洪亮
1篇
李龙
年份
1篇
2018
1篇
2017
1篇
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莫特晶体管及制备方法
本发明公开了一种莫特晶体管及其制备方法,其中方法包括如下步骤:采用镀膜工艺在衬底表面制备栅极,并在栅极表面依次制备栅介质层和沟道层;并在未被沟道层覆盖的栅介质层表面制备源极和漏极,完成底栅结构的莫特晶体管的制备;或采用镀...
张洪亮
曹鸿涛
李龙
张莉莉
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薄膜晶体管结构可见盲光电探测器及其制备方法
本申请公开了一种薄膜晶体管结构可见盲光电探测器,其包括薄膜晶体管,薄膜晶体管包括栅极、半导体沟道以及位于栅极和半导体沟道层之间的栅介质层;薄膜晶体管结构可见盲光电探测器还包括一层透明的互补型半导体薄膜和透明的金属氧化物薄...
曹鸿涛
余静静
梁凌燕
张莉莉
吴卫华
梁玉
宋安然
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薄膜晶体管结构可见盲光电探测器及其制备方法
本申请公开了一种薄膜晶体管结构可见盲光电探测器,其包括薄膜晶体管,薄膜晶体管包括栅极、半导体沟道以及位于栅极和半导体沟道层之间的栅介质层;薄膜晶体管结构可见盲光电探测器还包括一层透明的互补型半导体薄膜和透明的金属氧化物薄...
曹鸿涛
余静静
梁凌燕
张莉莉
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