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吴亮亮
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供职机构:
中国电子科技集团第十一研究所
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合作作者
高达
中国电子科技集团第十一研究所
王经纬
中国电子科技集团第十一研究所
王丛
中国电子科技集团第十一研究所
刘铭
中国电子科技集团第十一研究所
周立庆
中国电子科技集团第十一研究所
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作者
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刘铭
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吴亮亮
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2篇
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一种加热罩及温控系统
本实用新型公开了一种加热罩及温控系统,涉及温度控制技术领域。该加热罩,包括:加热罩本体、加热部、以及一个或多个温度检测部;加热罩本体为一体化设计,包括:导热层、保温层和隔热层,导热层、保温层及隔热层由内到外依次紧密叠合;...
吴亮亮
钟国舜
高达
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一种衬底腐蚀夹具
本发明公开了一种衬底腐蚀夹具,该夹具包括上夹具、下夹具以及连接部件,在上夹具的中心设置有同轴的上夹具凹陷区域和上夹具顶部开口,上夹具顶部开口的平面尺寸小于衬底的平面尺寸,上夹具凹陷区域用于放置衬底,在上夹具的边缘设置有多...
吴亮亮
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一种衬底腐蚀夹具
本发明公开了一种衬底腐蚀夹具,该夹具包括上夹具、下夹具以及连接部件,在上夹具的中心设置有同轴的上夹具凹陷区域和上夹具顶部开口,上夹具顶部开口的平面尺寸小于衬底的平面尺寸,上夹具凹陷区域用于放置衬底,在上夹具的边缘设置有多...
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分子束外延用碲锌镉衬底预处理方法
本发明公开了一种分子束外延用碲锌镉衬底预处理方法,包括:步骤一、利用化学抛光液对碲锌镉衬底表面进行化学抛光处理,获得抛光后的碲锌镉衬底;步骤二、利用第一湿化学清洗液和第二湿化学清洗液依次对抛光后的碲锌镉衬底进行清洗以去除...
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