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於俊

作品数：8 被引量：0H指数：0
供职机构：苏州大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学核科学技术轻工技术与工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇理学
  • 1篇轻工技术与工...
  • 1篇核科学技术

主题

  • 8篇螺旋波
  • 7篇等离子体
  • 4篇螺旋波等离子...
  • 3篇等离子体技术
  • 2篇灯丝
  • 2篇电离
  • 2篇电离率
  • 2篇调制
  • 2篇射频
  • 2篇射频调制
  • 2篇天线
  • 2篇屏蔽
  • 2篇轴向磁场
  • 2篇基片
  • 2篇光谱
  • 2篇发射光谱
  • 2篇放电
  • 2篇SION
  • 2篇磁场
  • 1篇等离子体密度

机构

  • 8篇苏州大学
  • 1篇江苏省薄膜材...

作者

  • 8篇於俊
  • 7篇吴雪梅
  • 7篇黄天源
  • 7篇金成刚
  • 7篇诸葛兰剑
  • 3篇杨佳奇

传媒

  • 1篇科学通报

年份

  • 2篇2018
  • 2篇2017
  • 4篇2016
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
采用螺旋波等离子体技术制备纳米晶金刚石薄膜的方法
本发明涉及一种采用螺旋波等离子体技术制备纳米晶金刚石薄膜的方法，包括如下步骤：（1）将Ar气和H<Sub>2</Sub>气通入到放电腔室内，在轴向磁场的环境下，通过射频调制的螺旋波等离子体实现Ar和H<Sub>2</Su...
於俊黄天源季佩宇杨佳奇金成刚吴雪梅诸葛兰剑
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一种螺旋波天线系统
本发明涉及一种螺旋波天线系统，包括绝缘管、绕设在绝缘管上的右旋天线、套设在右旋天线外的绝缘层以及套设在绝缘层外的屏蔽套筒，屏蔽套筒的一端呈封闭状且连接有进气管，绝缘管的一端与屏蔽套筒的一端抵接，进气管与所述绝缘管连通，屏...
吴雪梅黄天源金成刚於俊诸葛兰剑
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一种螺旋波天线系统
本发明涉及一种螺旋波天线系统，包括绝缘管、绕设在绝缘管上的右旋天线、套设在右旋天线外的绝缘层以及套设在绝缘层外的屏蔽套筒，屏蔽套筒的一端呈封闭状且连接有进气管，绝缘管的一端与屏蔽套筒的一端抵接，进气管与所述绝缘管连通，屏...
黄天源金成刚於俊吴雪梅诸葛兰剑
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采用螺旋波等离子体技术制备纳米晶金刚石薄膜的方法
本发明涉及一种采用螺旋波等离子体技术制备纳米晶金刚石薄膜的方法，包括如下步骤：（1）将Ar气和H<Sub>2</Sub>气通入到放电腔室内，在轴向磁场的环境下，通过射频调制的螺旋波等离子体实现Ar和H<Sub>2</Su...
吴雪梅於俊金成刚黄天源季佩宇杨佳奇诸葛兰剑
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螺旋波等离子体化学气相沉积装置
本实用新型涉及一种螺旋波等离子体化学气相沉积装置，包括真空放电室、与所述真空放电室相连通的真空沉积室，所述真空放电室外环绕有线圈，所述真空放电室内设置有第一进气管、右旋天线，所述右旋天线外套设有屏蔽筒，所述右旋天线的一端...
於俊黄天源季佩宇杨佳奇金成刚吴雪梅诸葛兰剑
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螺旋波等离子体技术快速沉积纳米晶金刚石
在自制的螺旋波等离子体装置(图1)，不同Ar/CH4比例条件下(表1)，实现快速沉积纳米晶金刚石薄膜，所沉积的薄膜的Raman谱图(图2)上可见明显的金刚石特征峰(D峰)。随CH4流量的提高，薄膜沉积速率也提高，在Ar ...
於俊金成刚黄天源诸葛兰剑吴雪梅
螺旋波等离子体的放电特性及类金刚石薄膜的制备研究
随着微电子技术的快速发展，集成电路的广泛应用已经深刻地影响到人类社会的各个方面。特别是集成度的提高，加快了人类社会的知识化、信息化的进程。然而，随着器件特征尺寸的持续缩小和集成度的提高，传统等离子体源如容性耦合等离子体源...
於俊
关键词：螺旋波等离子体放电特性类金刚石薄膜发射光谱
螺旋波等离子体合成SiON薄膜及其特性
2017年
采用不同比例的N_2/Ar螺旋波等离子体(HWP),对Si表面进行氮化处理合成SiON薄膜.X射线光电子能谱(X-ray photoelectron spectroscopy,XPS)结果显示,SiON薄膜主要由Si–O–N和Si–N键的两相结构组成.原子力显微镜结果表明氮化层光滑平整,薄膜表面粗糙度小于1.2 nm.水接触角的测量表明经过等离子体处理后样品表面疏水性能提高.放电过程中通过发射光谱采集了不同N_2和Ar流量比放电时的光谱数据,研究了等离子体中的粒子与SiON薄膜结构之间的关系.
於俊黄天源季佩宇金成刚诸葛兰剑吴雪梅
关键词：螺旋波等离子体SION发射光谱X射线光电子能谱原子力显微镜
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