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袁燕

作品数：9 被引量：3H指数：1
供职机构：北京印刷学院更多>>
发文基金：北京市自然科学基金国家重点实验室开放基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术金属学及工艺化学工程理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇专利
  • 2篇会议论文
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇金属学及工艺
  • 3篇一般工业技术
  • 2篇化学工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 8篇溅射
  • 5篇镀铝膜
  • 5篇附着力
  • 5篇高附着力
  • 4篇磁控
  • 4篇磁控溅射
  • 3篇溅射沉积
  • 2篇柔性基材
  • 2篇气路系统
  • 2篇铝膜
  • 2篇脉冲
  • 2篇缓冲层
  • 2篇溅射法
  • 2篇溅射法制备
  • 2篇高功率脉冲
  • 2篇高功率
  • 1篇氮化
  • 1篇氮化铬
  • 1篇电子束法
  • 1篇电阻法

机构

  • 9篇北京印刷学院

作者

  • 9篇袁燕
  • 8篇陈强
  • 8篇张海宝
  • 5篇王正铎
  • 4篇杨丽珍
  • 4篇桑利军
  • 2篇李花
  • 1篇刘忠伟

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 2篇2019
  • 4篇2017
  • 3篇2016
共 9 条 记 录，以下是 1-9
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排序方式：
关于高功率脉冲磁控溅射制备ZnO薄膜的研究
作为一种半导体材料,氧化锌的两个最主要特征:直接宽禁带和高激子束缚能。这些特性使氧化锌广泛应用于光电器件、太阳能电池等等。高功率脉冲磁控溅射等离子体具有密度高、电离率高的特点,比传统直流磁控溅射有明显的优势。因此本论文利...
袁燕
关键词：HIPIMSZNO温度
文献传递
氮流量对孪生靶磁控溅射沉积氮化铬薄膜性能的影响被引量：2
2016年
采用中频孪生靶反应磁控溅射在金属镍基底上制备氮化铬薄膜。利用X射线衍射仪、显微硬度计、扫描电子显微镜、原子力显微镜、磨擦磨损试验仪和电化学工作站等系统研究了氮气流量(即氮/氩流量比)对薄膜的相结构、显微硬度、表面形貌、附着力、耐磨性和耐腐蚀性的影响。结果得到随氮/氩流量比的增加,CrN_x薄膜成分经历了一个由Cr→Cr+Cr N→Cr+Cr_2N+Cr N的演化过程,薄膜形貌由致密、球状颗粒向类长方体规则形状的面心结构转化;而薄膜的表面粗糙度则呈现出在低氮时稍微下降,高氮含量时又快速增加的趋势,在N_2/Ar流量比为23/53时,粗糙度达到最小;耐磨性、硬度都呈现随着氮流量的增加先上升后下降;薄膜耐腐蚀性能随氮的加入明显得到改善。综合性能分析认为,制备2.5μm厚的氮化铬薄膜时在N_2/Ar(流量比)为23/53较为合适。
袁燕李花张海宝杨丽珍刘忠伟陈强
关键词：磁控溅射
高功率脉冲磁控溅射沉积氧化镁薄膜
氧化镁是良好的功能薄膜材料，绝缘、热稳定性能好、化学性质稳定，广泛应用于等离子显示屏中的介质保护膜以及功能薄膜外延生长的介质缓冲层.目前，沉积氧化镁薄膜的方法很多[1]，主要包括液相的溶胶凝胶法、物理气相沉积法(电子束蒸...
张海宝袁燕王正铎桑利军杨丽珍陈强
一种采用磁控溅射法制备高附着力镀铝膜的方法
一种采用磁控溅射法制备高附着力镀铝膜的方法，属于柔性包装薄膜材料制备技术领域。本发明是以磁控溅射法在聚合物薄膜表面沉积金属缓冲层，然后经真空蒸镀工艺沉积铝膜，获得高附着力镀铝膜。该制备工艺主要包括以下步骤：在磁控溅射腔室...
张海宝陈强杨丽珍袁燕
文献传递
一种高附着力镀铝膜
本实用新型公开了一种高附着力镀铝膜，属于柔性包装薄膜材料制备技术领域。一种高附着力镀铝膜，包括镀膜基材和最外层的镀铝层，在镀膜基材和最外层的镀铝层之间有金属缓冲层，金属缓冲层的厚度为5‑50nm，镀铝层的厚度为10‑20...
张海宝陈强袁燕王正铎桑利军
文献传递
一种采用磁控溅射法制备高附着力镀铝膜的方法
一种采用磁控溅射法制备高附着力镀铝膜的方法，属于柔性包装薄膜材料制备技术领域。本发明是以磁控溅射法在聚合物薄膜表面沉积金属缓冲层，然后经真空蒸镀工艺沉积铝膜，获得高附着力镀铝膜。该制备工艺主要包括以下步骤：在磁控溅射腔室...
张海宝陈强杨丽珍袁燕
一种连续生产高附着力镀铝膜的装置及方法
本发明公开了一种连续生产高附着力镀铝膜的装置及方法，属于柔性包装基材薄膜技术领域。本发明的装置由放卷辊(1)、张力辊(2)、溅射室(3)、镀膜室(4)、收卷辊(5)以及辅助的水路、电路、气路系统和真空系统构成。本发明的方...
张海宝陈强袁燕王正铎桑利军
磁控溅射氮化铬硬质镀层的缺陷成因分析
氮化铬(CrNx)硬质镀层具有高硬度、高耐磨、抗腐蚀、耐高温等优良性能，在刀具刃具等领域有着广泛的应用，也可用作大面积印刷版材的表面耐磨层，它经常使用反应磁控溅射的方法来制备。然而，磁控溅射制备的大面积氮化铬镀层，往往会...
王正铎李花袁燕张海宝陈强
关键词：磁控溅射过渡层偏压
一种连续生产高附着力镀铝膜的装置及方法
本发明公开了一种连续生产高附着力镀铝膜的装置及方法，属于柔性包装基材薄膜技术领域。本发明的装置由放卷辊(1)、张力辊(2)、溅射室(3)、镀膜室(4)、收卷辊(5)以及辅助的水路、电路、气路系统和真空系统构成。本发明的方...
张海宝陈强袁燕王正铎桑利军
文献传递
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