2024年11月26日
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姜晶
作品数:
172
被引量:118
H指数:6
供职机构:
电子科技大学
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发文基金:
国家自然科学基金
四川省科技计划项目
中央高校基本科研业务费专项资金
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相关领域:
自动化与计算机技术
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一般工业技术
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合作作者
王超
电子科技大学
胡俊
电子科技大学微电子与固体电子学...
栾春红
电子科技大学微电子与固体电子学...
梁莹林
电子科技大学微电子与固体电子学...
周婷
电子科技大学
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作者
172篇
姜晶
156篇
王超
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胡俊
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梁莹林
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周婷
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1篇
2009
共
172
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一种多孔纳米SnO<Sub>2</Sub>薄膜气敏材料的制备方法
本发明涉及SnO<Sub>2</Sub>薄膜气敏材料的制备,具体提供一种多孔纳米SnO<Sub>2</Sub>薄膜气敏材料的制备方法,该方法首先对钛片去除表面氧化层并清洗,然后按锡酸钠浓度为5~100g/L、添加剂浓度为...
王超
贺纪桦
梁莹林
杨萍
栾春红
姜晶
杨雄峰
一种用于超级电容器的晶态-非晶态MoO<Sub>3</Sub>@Ni<Sub>3</Sub>S<Sub>2</Sub>材料的制备方法
本发明公开了一种用于超级电容器的晶态‑非晶态MoO<Sub>3</Sub>@Ni<Sub>3</Sub>S<Sub>2</Sub>材料的制备方法,涉及复合材料及制备技术,特别是超级电容器电极材料技术领域。该材料为晶态‑非...
姜晶
胡娅林
李志鹏
何欣芮
牛夷
周婷
王超
文献传递
一种航空发动机热端部件非接触温度场距离误差校准方法
本发明公布了一种航空发动机热端部件非接触温度场距离误差校准方法,属于航空发动机温度测量技术领域。由于航空发动机实际测试环境和标定环境不可能完全一致,距离不可能保持不变,从而对标定的原始曲线产生影响,因此,在更改实验测试环...
王超
陈梦朝
张泽展
喻培丰
牛夷
姜晶
文献传递
一种基于声表面波传感技术的晶圆温度场测量装置
本发明提供了一种基于声表面波传感技术的晶圆温度场测量装置,主要用于收集和分析各种半导体工艺过程中的晶圆温度信息,包括承载数个声表面波温度传感器的晶圆、射频收发天线、密封型射频连接器、阅读器和上位机。该装置去除了传统无线晶...
王超
贾镜材
喻培丰
张泽展
程杰
牛夷
姜晶
文献传递
基于CF_4/Ar高密度感应耦合等离子体的BZN薄膜的刻蚀工艺研究
被引量:2
2012年
使用CF4/Ar高密度感应耦合等离子体(ICP)对磁控溅射法制得的铌酸锌铋(BZN)薄膜进行了干法刻蚀工艺研究。分析了BZN薄膜的刻蚀速率随工艺气体流量比、总流量和工作压强的改变而出现极大值的原因,展示了BZN薄膜的刻蚀速率随ICP功率的增大而线性增加的趋势。研究结果表明,使用CF4/Ar感应耦合等离子体对BZN薄膜进行刻蚀的机理为物理辅助的化学反应刻蚀。BZN薄膜的最佳刻蚀工艺参数为CF4/Ar流量比3/2、总流量25sccm、工作压强1.33Pa、ICP功率800W,使用此参数对BZN薄膜进行刻蚀,最大刻蚀速率为26nm/min,刻蚀后薄膜边缘齐整、表面光滑、形状完整。
王刚
李威
李平
李祖雄
范雪
姜晶
关键词:
感应耦合等离子体
干法刻蚀
刻蚀速率
表面形貌
一种高性能低温热电材料及其制备方法
本发明公开了一种高性能低温热电材料及其制备方法,其特征在于:化学式为(Ag<Sub>y</Sub>Cu<Sub>2‑y</Sub>)<Sub>1‑</Sub><Sub>x</Sub>Te<Sub>1‑z</Sub>Se<...
姜晶
潘燕
牛夷
周婷
张蕊
何欣芮
王超
文献传递
一种用于辐射高温计校准的便携黑体炉
本发明提供一种用于辐射高温计校准的便携黑体炉,包含上盖板,下盖板,左盖板,右盖板,前安装板,后安装板,电热管,加热管套管,中心样品管,石墨棒十个部分。在前安装板的固定槽中插入尺寸匹配的方形石英玻璃,将热电偶从后安装板的中...
姜晶
牛夷
张泽展
王超
一种用于金属微型试样高温实验的小型加热装置
本实用新型提供一种用于金属微型试样高温实验的小型加热装置,该装置包括加热芯、壳体、隔热保温材料和温度控制器。其中加热芯水平贯穿安装在壳体上一组对面的圆形孔中,加热芯与壳体之间用隔热材料填充,加热芯的内部安装有温度传感器,...
王超
张泽展
姜晶
王飞
张晨贵
胡俊
文献传递
一种基于双轴调节的涡轮叶片表面温度测量
本发明公开了一种基于双轴调节的涡轮叶片表面温度测量装置,属于航空技术领域。该方法的设计了横向和径向的运动调节系统,对航空发动机的叶片进行面扫描探测,获取叶片的表面温度。横向是探测器整体相对叶片的距离,径向是准直透镜的焦距...
王超
胡俊
王飞
张泽展
姜晶
熊杰
王跃明
马铁中
严冬
文献传递
一种基于旋转式棱镜的涡轮叶片表面温度测量装置
该发明公开了一种基于旋转式棱镜的涡轮叶片表面温度测量装置,属于航空发动机领域,特别是含有旋转棱镜和水冷套管的涡轮叶片表面温度测量装置。本发明克服了传统的涡轮叶片测量装置伸入发动机部分过长造成的安装困难、光学污染严重等问题...
姜晶
邱安美
钟业奎
喻培丰
张泽展
段英
苟学科
田贵云
王超
文献传递
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