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刘莹

作品数：8 被引量：0H指数：0
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 8篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇排风
  • 3篇腔体
  • 3篇光刻
  • 3篇光刻胶
  • 2篇一致性
  • 2篇粘附
  • 2篇气体
  • 2篇欠压
  • 2篇亲水
  • 2篇亲水层
  • 2篇稳压
  • 2篇稳压器
  • 2篇校验器
  • 2篇工艺气
  • 2篇工艺气体
  • 2篇管路
  • 2篇管路安装
  • 2篇阀板
  • 2篇TRACK
  • 1篇调节设备

机构

  • 8篇沈阳芯源微电...

作者

  • 8篇刘莹
  • 2篇施强

年份

  • 1篇2018
  • 2篇2017
  • 1篇2016
  • 4篇2015
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
一种排风稳压器及其排风稳压方法
本发明涉及一种排风稳压器及其排风稳压方法，排风稳压器的主管道串联在厂务端与设备端之间，在主管道上设有阀板安装块；主管道靠近厂务端的一端内设有风扇，靠近设备端的另一端设有测量孔接头，压力传感器安装在测量孔接头的上方；阀板安...
刘莹施强
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一种TRACK机台匀胶单元的防回溅与防粘附型工艺腔体
本发明涉及一种匀胶单元的工艺腔体，具体地说是一种TRACK机台匀胶单元的防回溅与防粘附型工艺腔体，包括上工艺腔体、中工艺腔体及下工艺腔体，所述上工艺腔体和中工艺腔体分别与下工艺腔体配合，形成一个整体，所述上工艺腔体的内侧...
刘莹
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一种管路一致性校验器及其使用方法
本发明涉及半导体制造领域中药液输送管路、工艺气体输送管路等对管路要求较高的领域，具体的说是一种用于识别相同工艺单元管路一致性的管路一致性校验器及其使用方法。本发明将电路的分析方法引入到管路分析之中，简单明了的获得表达该测...
刘莹
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一种TRACK机台匀胶单元的防回溅与防粘附型工艺腔体
本发明涉及一种匀胶单元的工艺腔体，具体地说是一种TRACK机台匀胶单元的防回溅与防粘附型工艺腔体，包括上工艺腔体、中工艺腔体及下工艺腔体，所述上工艺腔体和中工艺腔体分别与下工艺腔体配合，形成一个整体，所述上工艺腔体的内侧...
刘莹
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一种管路一致性校验器及其使用方法
本发明涉及半导体制造领域中药液输送管路、工艺气体输送管路等对管路要求较高的领域，具体的说是一种用于识别相同工艺单元管路一致性的管路一致性校验器及其使用方法。本发明将电路的分析方法引入到管路分析之中，简单明了的获得表达该测...
刘莹
一种排风稳压器及其排风稳压方法
本发明涉及一种排风稳压器及其排风稳压方法，排风稳压器的主管道串联在厂务端与设备端之间，在主管道上设有阀板安装块；主管道靠近厂务端的一端内设有风扇，靠近设备端的另一端设有测量孔接头，压力传感器安装在测量孔接头的上方；阀板安...
刘莹施强
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一种光刻胶涂布轨迹的实施方法
本发明为一种光刻胶涂布轨迹的实施方法，应用于半导体制造领域中光刻胶涂布的工艺过程，适用于超声波喷涂工艺和旋涂工艺中的光刻胶喷洒过程，解决了喷头（或胶嘴）相对于晶片运动过程中的一类优化问题，有助于提高胶膜的均匀性。该相对运...
刘莹
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一种单排风口匀胶显影腔体
本发明涉及半导体制造领域中的匀胶显影设备，具体地说是一种单排风口匀胶显影腔体，包括上匀胶腔体、中匀胶腔体、整流板及下匀胶腔体，其中下匀胶腔体的底部设有一个排风口，所述下匀胶腔体的顶部设有上匀胶腔体，所述上匀胶腔体和下匀胶...
刘莹
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